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更新时间:2026-05-28简要描述:日本长野计器半导体气体压力开关CB14-173,该设备专为半导体制造过程中使用的各类气体设计,具有小型化、高洁净度和高气密性的特点。
| 品牌 | 其他品牌 | 产地类别 | 进口 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 环保,化工,能源,电子/电池,综合 |
小型轻量化:专为设备紧凑空间设计,便于直接安装在装置上。
易操作性:压力设定调节简便,外部可调。
稳定性:微动开关结构设计避免了额外应力,确保制程控制稳定。

制造环境:在 Class 100 洁净台或洁净室中清洗、组装,全程无油无水处理。
表面处理:隔膜型气体接触部件经过电解抛光(Electropolished)。
包装:成品采用防尘聚乙烯袋密封包装。
合规声明:产品本体不贴附“无油无水"标签,但出厂默认符合该标准。
压力范围:涵盖真空(-0.1 MPa)至高压(2.1 MPa)多种量程。
破坏压力:根据量程不同,最高可达 25 MPa。
死区(Deadband):最大控制在 0.042 MPa 以内,确保响应精度。
接液材质:SUS316 或 SUS316L(波纹管或隔膜型)。
接口形式:1/8 NPT,1/4 VCR(9/16-18UNF 内/外螺纹)。
额定值:125V/250V AC,15A。
绝缘性能:端子与外壳间耐压 1500V AC/1 分钟,绝缘电阻 ≥100MΩ。
触点数量:1 组触点(1-contact)。
工作/存储温度:-5℃ 至 40℃。
泄漏率:氦气泄漏率 ≤ 1.01×10⁻⁹ Pa·m³/s(极低泄漏,保证气密性)。
外壳防护:室内开启型。
推荐范围:为保证高精度与长寿命,建议设定在满量程(F.S.)的 30% 至 65% 之间。
上下限计算:
上限 = (最的低的压力值 + 死区) 至 90% 最大量程。
下限 = 最的低的压力值 至 (90% 最大量程 - 死区)。
复合量规(Compound gauge)需按特定公式计算。
型号配置:需指定型号代码(Model Number),包括压力范围、接口类型等规格。
特殊标注:若无特定规格要求,用“X"表示。
防爆要求:严禁安装在正常操作条件下可能引发点火或爆炸的装置或大气环境中(仅适用于非易燃易爆环境)。
操作规范:严禁破坏产品密封包装,确保在洁净环境下开封使用,避免污染制程气体。
该 CB14 压力开关针对半导体制造的严苛要求进行了优化,通过严格的洁净度控制和材料选择,确保了在敏感气体环境下的安全与可靠运行。
日本长野计器半导体气体压力开关CB14-173,该设备专为半导体制造过程中使用的各类气体设计,具有小型化、高洁净度和高气密性的特点。
日本长野计器半导体气体压力开关CB14-173,该设备专为半导体制造过程中使用的各类气体设计,具有小型化、高洁净度和高气密性的特点。