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产品分类日本 Lintec VU-206 半导体微电子薄膜工艺用液体前驱体汽化器 用于 TEOS、水等液态前驱体高精度汽化供给,可搭配 LM-3000L 系列同步控汽化流量。适配半导体 CVD、ALD 薄膜沉积工艺,采用压电阀微量调节,密封性能优异,适合微电子、光伏薄膜等精密气相工艺。
更新时间:2026-11-03LINTEC 半导体无金属高纯液体石英汽化器 QV-1000 接液部位全石英无金属,可汽化双氧水、超纯水等腐蚀性高纯前驱体,规避金属污染。依靠双孔雾化结构实现高效稳定汽化,适配半导体氧化、清洗、薄膜制备工艺,用于芯片制造等高洁净要求的电子制程。
更新时间:2026-11-03