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Table Stable半导体用三维主动式隔振台系统TS-140(TP25)/TS-150(TP25),TS 系列桌面主动式微振动控制系统,依托反向振动抵消原理削弱 0.7~100Hz 频段震动,可自动找平、监测减振工况,能适配重心偏高、载荷不均的设备。多用于半导体检测、精密光学实验、显微观测、激光加工、精密计量场景,适配科研院所、半导体工厂、光学实验室、精密电子质检行业,
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