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Elionix 五代 超微小压入硬度计 纳米压痕仪

  • 产品型号:ENT-5
  • 更新时间:2026-07-30

简要描述:Elionix 五代 超微小压入硬度计 纳米压痕仪 ENT-5是一款超微小压入硬度计(纳米压痕仪),用于精确测量材料在微观尺度下的硬度、弹性模量等机械性能。它广泛适用于半导体、电子、汽车、新材料研发及学术研究等行业,尤其擅长评估薄膜、涂层、高分子材料及微小颗粒的性能。

产品详情
品牌其他品牌价格区间面议
产地类别进口仪器种类纳米压痕仪
应用领域食品/农产品,化工,制药/生物制药,综合,半导体
这款名为 ENT-5 的设备,是株式会社エリオニクス(Elionix)推出的第五代超微小压入硬度计(也常被称为纳米压痕仪)。它是一款专为评估材料微观机械性能而设计的高的端的精密仪器。

Elionix 五代 超微小压入硬度计 纳米压痕仪


核心功能与应用

ENT-5 的核心功能是通过纳米压痕技术,在极微小的尺度上精确测量材料的硬度和弹性模量。它无需观察压痕,而是通过分析载荷与位移曲线来获取数据,并符合 ISO 14577-1/JIS Z 2255 标准。
它的应用范围非常广泛,尤其擅长处理传统方法难以测量的样品:
  • 薄膜与涂层:如电镀层、硬质涂层、DLC(类金刚石碳)等极薄膜。

  • 高分子材料:如树脂、薄膜材料、功能性树脂膜。

  • 微小样品:如微小颗粒、粉末材料。


产品亮点

ENT-5 的设计旨在实现高精度、高可靠性和易操作性。
  • 高精度与高重现性
    • 温控系统:内置温度管理机构和低热膨胀材料,能有效抑制样品和仪器本身的热膨胀,保证数据稳定。

    • 减震设计:标配主动减震台和高精度楔形载物台,有效隔绝外部振动干扰。

    • 精准定位:采用公司自研的电子束光刻设备的高精度载物台技术,可实现 0.1μm 步进的精确定位,配合最高2000倍的观察倍率,能对样品的任意微小区域进行测试。

  • 宽泛的测试范围
    • 提供两种可简易更换的载荷单元,覆盖了从 0.5 μN 到 2 N 的超宽测试范围,既能测量坚硬的金属,也能评估柔软的橡胶。

    • 高载荷单元 (5 μN ~ 2 N):适用于金属到高分子材料的广泛硬度测试。

    • 低载荷单元 (0.5 μN ~ 10 mN):专为100nm以下的超薄膜、软质材料(如弹性体)和极浅压入深度(<10nm)的测量优化,具有出色的重复性和稳定性。

  • 用户友好
    • 作为一款纯国产设备,它配备了亲切易用的图形用户界面(GUI),操作简便。


主要规格

项目规格
载荷范围高载荷单元: 5 μN ~ 2,000 mN<br>低载荷单元: 0.5 μN ~ 10 mN
载荷分辨率高载荷单元: 5 nN
低载荷单元: 0.03 nN
位移测量范围± 50 μm
位移分辨率0.3 pm
样品尺寸φ 50 x t 3.5 mm (参考值)
测试区域X 50 mm, Y 40 mm


丰富的选配功能

为了满足不同领域的特殊需求,ENT-5 提供了多样化的选配功能,极大地扩展了其应用潜力。
  • 环境控制:加热/冷却样品台、水中测试、手套箱型屏蔽箱(用于干燥环境测试)。

  • 高级测试:

    • 粘弹性测试:测量储能模量(E')、损耗模量(E")等。

    • 颗粒强度测试:测量微小颗粒的压缩或压溃强度(符合JIS标准)。

    • 表面轮廓测试:先扫描样品表面形貌,再进行定点测试。

    • 表面力测试(仅低载荷单元):定量测量两个物质表面分离所需的力。

    • 电阻值测试:在压缩导电颗粒的同时测量其电阻。

  • 自动化与联动:颗粒自动检测选项、与其他分析设备(如EDS/EBSD)的联动功能


Elionix 五代 超微小压入硬度计 纳米压痕仪 ENT-5是一款超微小压入硬度计(纳米压痕仪),用于精确测量材料在微观尺度下的硬度、弹性模量等机械性能。它广泛适用于半导体、电子、汽车、新材料研发及学术研究等行业,尤其擅长评估薄膜、涂层、高分子材料及微小颗粒的性能。

Elionix 五代 超微小压入硬度计 纳米压痕仪 ENT-5是一款超微小压入硬度计(纳米压痕仪),用于精确测量材料在微观尺度下的硬度、弹性模量等机械性能。它广泛适用于半导体、电子、汽车、新材料研发及学术研究等行业,尤其擅长评估薄膜、涂层、高分子材料及微小颗粒的性能。

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