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MEIRITZ 主动隔振防振台 精密测量半导体用

  • 产品型号:MiX-330 / MiX-520
  • 更新时间:2026-07-21

简要描述:MEIRITZ 主动隔振防振台 精密测量半导体用 MiX系列是一款高的端的主动式隔振系统,专为精密仪器提供稳定平台。它通过平衡隔振与制振性能,提升测量和加工的效率与精度。主要应用于计测计量、半导体制造及精密加工等领域。

产品详情
品牌其他品牌产地类别进口
应用领域化工,电子/电池,综合,半导体

MiX系列是明立精机推出的高的端的主动式隔振系统,专为高精度仪器打造。它最大的亮点在于解决了传统隔振系统难以同时兼顾“隔离外部振动"和“抑制自身晃动"的难题。通过其水平位移抑制机构水平刚性强化的设计,MiX系列实现了两大核心优势:

  • 卓的越的隔振性能:有效隔离来自地面和周边环境的振动,例如将10Hz的振动衰减至-40dB,对1Hz起的低频微振动(如人员走动)也有显著抑制效果。

  • 压倒性的制振性能:大幅缩短了“稳定时间"(Settling Time)。这意味着仪器在完成移动等动作后,能更快地恢复稳定,进入可测量或加工的状态,从而提升整体生产效率。

MEIRITZ 主动隔振防振台 精密测量半导体用


主要应用领域

  • 计测・计量机器

  • 半导体制造・精密加工


型号选择:三种类型,按需定制

为了满足不同场景的需求,MiX系列提供了三种配置。
型号类型性能侧重适用场景
S型隔振性能侧重隔离外部环境振动干扰
M型平衡性能在隔振与制振之间取得平衡
H型制振性能侧重快速抑制仪器自身动作产生的晃动
请注意:MiX-330和MiX-520这两个型号不提供S型配置。


详细规格参数表

以下是MiX系列各型号的详细规格。
项目MiX-330MiX-520MiX-650MiX-870MiX-1080
定盘尺寸 (mm)300 × 300500 × 200600 × 500800 × 7001000 × 800
有效载荷 (kg)50100200300500
外形尺寸 (mm)360 × 360560 × 260660 × 560860 × 7601060 × 860
高度 (mm)700700700700700
水平固有频率 (Hz)0.5~1.00.5~1.00.5~1.00.5~1.00.5~1.0
垂直固有频率 (Hz)1.0~2.01.0~2.01.0~2.01.0~2.01.0~2.0


其他特点

  • 标配振动监测App:系统内置振动环境监测应用,可以记录振动历史,并直观地显示VC等级,方便用户随时掌握环境状态。



MEIRITZ 主动隔振防振台 精密测量半导体用 MiX系列是一款高的端的主动式隔振系统,专为精密仪器提供稳定平台。它通过平衡隔振与制振性能,提升测量和加工的效率与精度。主要应用于计测计量、半导体制造及精密加工等领域。

MEIRITZ 主动隔振防振台 精密测量半导体用 MiX系列是一款高的端的主动式隔振系统,专为精密仪器提供稳定平台。它通过平衡隔振与制振性能,提升测量和加工的效率与精度。主要应用于计测计量、半导体制造及精密加工等领域。

 
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