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更新时间:2026-07-10
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冷间・乾式工法:加工过程中不会产生高温,因此不会像激光加工那样引起材料的热变形或变质层。
高精度:加工精度非常高,能处理从50μm(微米)起的微小结构。
低损伤:相比其他加工方式,产生的微裂纹(Micro-crack)和加工变质极少,特别适合硬脆材料(如玻璃、陶瓷、硅片)。
能力:可在玻璃、硅(Si)、陶瓷等材料上加工通孔或盲孔。
精度:最小孔径可达 50μm (玻璃/Si) 或 100μm (陶瓷)。
应用:传感器基板、隔板(Interposer)、Via Hole(通孔)等。
能力:挖掘微细沟槽或流路。
精度:线宽最小 50μm。
应用:Lab-on-a-chip (芯片实验室) 的流路形成、埋入式电极沟槽、玻璃基板的流道。
能力:对玻璃薄板等进行精细切割。
全面去除:去除涂层、镀膜、氧化层、锈迹等,用于回收或翻新。
部分/图案去除:精度可达 50μm,用于制造特定图案(Patterning)或绝缘处理(如太阳能电池板的边缘隔离)。
无需掩模(Maskless):部分设备支持直接喷射加工,无需制作复杂的掩模板,降低了成本。
适合复杂形状:相比激光(容易产生热影响区)和化学蚀刻(难以处理大面积复杂形状),这种喷砂技术在处理大面积、多形状组合时效率更高。