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不只是喷砂:揭秘sinto 10μm 级别的“微细加工”黑科技

更新时间:2026-07-10      浏览次数:23
新东工业(Sinto)微细加工技术(Micro Blasting / マイクロブラスト)。这并非我们日常生活中使用的消费品,而是一项非常精密的工业制造与表面处理技术,主要用于电子、半导体和精密光学领域。简单来说,这是一种利用极微小的颗粒(10μm~70μm)在高速下撞击材料表面,从而实现“雕刻"或“去除"材料的冷加工工艺。


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核心技术原理

这项技术基于脆性破坏原理,通过压缩空气将微细砥粒高速喷射到工件表面。
  • 冷间・乾式工法:加工过程中不会产生高温,因此不会像激光加工那样引起材料的热变形或变质层。

  • 高精度:加工精度非常高,能处理从50μm(微米)起的微小结构。

  • 低损伤:相比其他加工方式,产生的微裂纹(Micro-crack)和加工变质极少,特别适合硬脆材料(如玻璃、陶瓷、硅片)。


相比其他加工方式的优势

比较项目微细喷砂 (本技术)化学蚀刻激光加工超声波加工
环境对应优 (◎)
干式无化学药剂
差 (×)
使用化学品
优 (◎)一般 (○)
生产性/效率优 (◎)差 (△)差 (△)差 (△)
初始成本
边缘精细度高 (锐角清晰)-低 (边缘有凹凸)-


主要加工类型与应用

该技术能够实现多种复杂的微细加工需求,具体如下:

1. 穴加工 (微孔加工)

  • 能力:可在玻璃、硅(Si)、陶瓷等材料上加工通孔或盲孔。

  • 精度:最小孔径可达 50μm (玻璃/Si) 或 100μm (陶瓷)。

  • 应用:传感器基板、隔板(Interposer)、Via Hole(通孔)等。

2. 溝加工 (沟槽/流路加工)

  • 能力:挖掘微细沟槽或流路。

  • 精度:线宽最小 50μm

  • 应用Lab-on-a-chip (芯片实验室) 的流路形成、埋入式电极沟槽、玻璃基板的流道。

3. 切断加工

  • 能力:对玻璃薄板等进行精细切割。

4. 膜层去除 (剥离/清洁)

  • 全面去除:去除涂层、镀膜、氧化层、锈迹等,用于回收或翻新。

  • 部分/图案去除:精度可达 50μm,用于制造特定图案(Patterning)或绝缘处理(如太阳能电池板的边缘隔离)。


加工精度参考表

以下是针对不同材料的典型加工精度数据:
加工类型材料 (Glass/Si vs. Alumina/Ceramic)最小线宽/孔径深度误差
孔/穴50μm 起 / 100μm 起±5% / ±10~15%
沟/槽50μm 起 / 100μm 起±5% / ±5%
Aspect Ratio
(宽深比)
玻璃/Si: 1:2 (单面)
陶瓷: 1:1 (单面)
(指100μm孔径时的深度)


为什么这项技术很重要?

  • 无需掩模(Maskless):部分设备支持直接喷射加工,无需制作复杂的掩模板,降低了成本。

  • 适合复杂形状:相比激光(容易产生热影响区)和化学蚀刻(难以处理大面积复杂形状),这种喷砂技术在处理大面积、多形状组合时效率更高。

总结:这是一项针对硬脆材料(如玻璃、陶瓷、硅片)的高精度、干式微细加工技术


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