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产品型号：FLC4000R-G10-1
更新时间：2026-10-27简要描述：TOFCO 东富科 半导体湿法供液流量控制器 FLC4000R-G10-1 采用 PFA/PTFE 接液材质，气动驱动搭配超声波流量计，可精准控制纯水、药液流量，具备 PID 调节、故障报警功能，耐腐蚀、响应快。广泛用于半导体湿法工艺、精密化工、电子制造等行业，适配高精度药液输送、配比供液场景。
| 品牌 | 其他品牌 | 产地类别 | 进口 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 环保,化工,能源,电子/电池,综合 |
FLC4000R 是日本 TOFCO 东富科专为纯水、化学药液开发的超声波式流量控制器，主打半导体湿法工艺、精密化工等强腐蚀流体的高精度流量闭环控制。
整机采用气动驱动方案，核心由超声波流量计 + 气动流量控制阀组成，相比电机驱动，响应速度更快。接液部件全部为 PTFE、NEW PFA 氟树脂材质，耐各类酸碱、光刻药液腐蚀，适配腐蚀性工艺流体。
流量量程丰富：分 G08（1/4"PFA 管）、G10（3/8" PFA 管）两个规格，覆盖 30mL/min～5L/min 宽流量区间，支持水以及特殊药液介质；
控制精度优异：流量精度满量程 ±1.0%，控制精度读数 ±2%，具备 ±0.5% 的良好重复性，内置 PID 分段调节，流量稳定可控；
信号兼容通用：支持 4-20mA、0-5V、1-5V 模拟量输入输出，可对接 PLC 上位系统，实时采集流量、远程设定流量；
安全保护功能：自带流量异常 Fail 故障报警输出，测量异常时阀门自动关断，保障工艺安全，支持故障复位；
工况适配：流体温度 0~50℃，工作环境 15~40℃，无凝露环境使用，耐压满足湿法供液管路需求。
半导体湿法清洗、刻蚀、显影工艺药液供给，电子行业超纯水输送，精细化工药液配比、微量药剂加注等对流体洁净度、耐腐蚀性、流量稳定性要求高的工序。
型号编码可选择流体介质、流量量程、模拟信号类型；特殊药液工况需要提前和厂家确认介质适配性，药液、温度变化场景支持流量校正。
TOFCO 东富科 半导体湿法供液流量控制器 FLC4000R-G10-1 采用 PFA/PTFE 接液材质，气动驱动搭配超声波流量计，可精准控制纯水、药液流量，具备 PID 调节、故障报警功能，耐腐蚀、响应快。广泛用于半导体湿法工艺、精密化工、电子制造等行业，适配高精度药液输送、配比供液场景。
TOFCO 东富科 半导体湿法供液流量控制器 FLC4000R-G10-1 采用 PFA/PTFE 接液材质，气动驱动搭配超声波流量计，可精准控制纯水、药液流量，具备 PID 调节、故障报警功能，耐腐蚀、响应快。广泛用于半导体湿法工艺、精密化工、电子制造等行业，适配高精度药液输送、配比供液场景。
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