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产品型号：VK-TR05 / VK-TM20
更新时间：2026-10-27简要描述：TOFCO半导体冷却水流量监测卡门涡街流量计 VK-TR05 / VK-TM20 用于纯水、冷却液等水相液体流量检测，低压损、无活动部件，支持脉冲、4-20mA 模拟信号输出。广泛应用于半导体清洗、工业冷却、机床、自动化产线、化工、精密设备、实验室水路等行业，实现管路流量在线监测与闭环控制。
| 品牌 | 其他品牌 | 价格区间 | 面议 |
|---|---|---|---|
| 产品种类 | 其他 | 介质分类 | 液体 |
| 产地类别 | 进口 | 应用领域 | 食品/农产品,化工,制药/生物制药,综合,半导体 |
这是日本 TOFCO（东フロコーポレーション）出品的卡曼涡街式液体流量计，依靠卡门涡街原理测量液体体积流量，主打无活动部件、低压损、高耐久，适合纯水、冷却液等液体在线流量监测、OEM 设备配套。
结构简单，压力损失低；
内部无可动部件，耐久性优异；
安装姿态无限制，任意方向都可以安装；
接液材质标配 PPS、FKM、SCS13；VK-TR05/10 型号提供树脂适配器版本；
集成 LED 状态指示灯，自带脉冲输出、模拟量输出两种信号方案。
红色 LED（电源灯）：点亮 = 供电正常；熄灭 = 断电
绿色 LED（流量指示灯）：常亮 / 闪烁 = 正在测量流量；熄灭 = 超出测量范围、流量异常
分两种线缆版本：
仅脉冲输出型
黑色：脉冲输出
青色：GND
茶色：DC12~24V
模拟量 + 脉冲输出型
黑色：模拟输出
青色：GND
茶色：DC+24V
白色：脉冲输出
灰色：设定用（请勿接线）
脉冲输出：NPN 开路集电极，最大 DC35V/100mA；模拟电流输出：4-20mA，负载电阻≤300Ω；电压输出：1-5V / 1-10V / 0-5V / 0-10V，负载阻抗≥5kΩ。
| 型号 | 量程 | 备注 |
|---|---|---|
| VK-TR05 | 0.5～5 L/min | |
| VK-TR10 | 1～10 L/min / 2～20 L/min | |
| VK-TM20 | 5～60 L/min | |
| VK-TM25 | 10～120 L/min |
测量流体：水相当液体
精度：±3% F.S.
流体温度：0～70℃
环境温度：0～50℃（无结冰）
耐压：最高使用压力 1MPa (G)，耐压力 1.5MPa (G)
供电：DC12~24V（脉冲款）；DC24V（模拟 + 脉冲款）
线缆：标准 2m，AWG26
接液材质：PPS、FKM、SCS13（树脂适配器款可选）
纯水、冷却水、清洗液、半导体工艺水路、设备冷却回路、化工小型管路、机床、检测设备、自动化产线流量监测。
TOFCO半导体冷却水流量监测卡门涡街流量计 VK-TR05 / VK-TM20 用于纯水、冷却液等水相液体流量检测，低压损、无活动部件，支持脉冲、4-20mA 模拟信号输出。广泛应用于半导体清洗、工业冷却、机床、自动化产线、化工、精密设备、实验室水路等行业，实现管路流量在线监测与闭环控制。
TOFCO半导体冷却水流量监测卡门涡街流量计 VK-TR05 / VK-TM20 用于纯水、冷却液等水相液体流量检测，低压损、无活动部件，支持脉冲、4-20mA 模拟信号输出。广泛应用于半导体清洗、工业冷却、机床、自动化产线、化工、精密设备、实验室水路等行业，实现管路流量在线监测与闭环控制。
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