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产品型号：VB-1000/VB-300/VB-200GB
更新时间：2023-05-18简要描述：ayumi真空退火设备VB-1000/VB-300/VB-200GB它是一种提高热粘合设备 TB-60 批量生产率的设备。通过自动传输，保持键合室空气稳定，提高批量生产率。对应最大8英寸基板的贴合。衬底的冷却可以在真空或气体条件下进行。
| 品牌 | 其他品牌 | 产地类别 | 国产 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 环保,化工,能源,电子,综合 |
ayumi真空退火设备VB-1000/VB-300/VB-200GB
ayumi真空退火设备VB-1000/VB-300/VB-200GB
可用于硅晶圆、玻璃基板、面板、元器件、材料等各种物体的退火处理。
我们提供批量式、在线式等各种真空退火设备。
我们有一些退火系统可以对应从 100Cﾟ 左右的低温到 900Cﾟ 以上的高温。
也对应气体置换型（Ar、N2、Ar+N2）。抽真空和加热可以自动进行。
我们还有在手套箱中预处理后进行退火的连续加工设备。
该对位设备与邦定设备配套使用。
它对应从简单类型到自动插入和自动对齐的各种需求。
我们还提供超高精度亚微米对准设备。
是阳极键合、共晶键合、玻璃键合、熔接玻璃键合、直接键合、树脂键合、胶键合的批量生产设备。
我们实现了自动化并提高了批量生产率。
我们采用了自己的加热方式，它可以进行快速加热和快速冷却。
它具有可以直接加热基板的结构，并且可以尽可能地减小加热器温度和基板温度之间的差异。
通过使用对准设备可以对应高精度对准。
通过选项，它可以应用通过 PC 进行的配方管理和它是一种提高热粘合设备 TB-60 批量生产率的设备。
通过自动传输，保持键合室空气稳定，提高批量生产率。
对应最大8英寸基板的贴合。
衬底的冷却可以在真空或气体条件下进行。数据记录管理，以及阳极键合功能。
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