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产品型号：冈野 APG‑202N32-10-18
更新时间：2026-08-22简要描述：冈野 APG‑202N32-10-18 OKANO皮拉尼真空计 半导体真空腔体压力监测 OKANO 冈野 APG‑202 皮拉尼真空计，采用控制器与分离式传感器结构，实现粗、中真空度检测，具备模拟量、继电器接点、RS232 通讯输出，支持压力联锁。适配半导体、真空镀膜、热处理、真空泵配套行业，可处理压力波动工况，完成真空腔体实时压力监测。
| 品牌 | 其他品牌 | 产地类别 | 进口 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 综合 |
这是日本冈野製作所 OKANO生产的皮拉尼真空计（Pirani vacuum gauge），用于粗 / 中真空环境压力测量，广泛用于半导体、真空设备、镀膜、真空工艺设备。
整套由显示控制器 + APG‑SENSOR 真空传感器探头两部分组成：
显示控制器 APG‑202：数显面板，数字显示真空度，带操作按键、报警输出；
传感器探头：分离式传感器，通过线缆连接控制器，可独立安装在真空腔体上。
轻薄紧凑：本体仅 96×96×46.7mm，控制器重量约 350g，面板嵌入式安装；
抗冲击抗振动：传感器内部做微结构强化，适合设备震动工况；
数字信号传输：控制器与传感器之间数字通讯，线缆长度不会影响测量精度，传感器可远距离布置，方便更换；
接点报警输出：高低压力接点输出，可做设备联锁控制；
移动平均滤波：可应对压力剧烈波动的测量场景，读数稳定；
高性价比，日本本土制造。
测量量程：\(2.0×10^\sim2.0×10^\ \mathrm\)
显示量程：\(1.0×10^\sim1.0×10^\ \mathrm\)
显示：7 段红色 LED 数字，0.5 秒更新；
传感器接口3 种可选：
Φ15 圆筒、Φ18 圆筒、NW16 卡箍法兰；
传感器线缆长度：2m / 5m /10m /20m 可选；
信号输出：0‑5V 模拟输出；3 路继电器接点输出（HI/GO/LO）；RS‑232C 通讯；
供电：DC12‑24V，也可选 AC 适配器；
使用温度：0~+50℃。
APG‑202N32‑线缆长度代号‑传感器接口代号
线缆：02=2m，05=5m，10=10m，20=20m
传感器接口：15=Φ15，18=Φ18，NW16=NW16 法兰
标准附件：传感器线缆、桌面支架、安装五金件；
选件：AC 电源适配器、软管接头套件 P‑PzS、多种规格真空接管（焊接 / 快卡法兰）。
半导体设备、真空镀膜机、真空泵监测、热处理、工业真空腔体，需要监测粗真空、中真空压力，同时需要联锁报警输出的设备。
补充：皮拉尼真空计原理：利用热丝散热速率和气体压力的关系测量真空，适合\(10^\sim10^3\mathrm\)区间，不能用于腐蚀性气体（需要选型确认）。
冈野 APG‑202N32-10-18 OKANO皮拉尼真空计 半导体真空腔体压力监测 OKANO 冈野 APG‑202 皮拉尼真空计，采用控制器与分离式传感器结构，实现粗、中真空度检测，具备模拟量、继电器接点、RS232 通讯输出，支持压力联锁。适配半导体、真空镀膜、热处理、真空泵配套行业，可处理压力波动工况，完成真空腔体实时压力监测。
冈野 APG‑202N32-10-18 OKANO皮拉尼真空计 半导体真空腔体压力监测 OKANO 冈野 APG‑202 皮拉尼真空计，采用控制器与分离式传感器结构，实现粗、中真空度检测，具备模拟量、继电器接点、RS232 通讯输出，支持压力联锁。适配半导体、真空镀膜、热处理、真空泵配套行业，可处理压力波动工况，完成真空腔体实时压力监测。
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