高污染环境下真空计寿命短怎么办？ULVAC ST200 三极管型电离真空计给出答案

更新时间：2026-08-22

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在真空镀膜、半导体刻蚀、化学气相沉积等工艺中，真空腔体内往往充斥着大量反应副产物、粉尘和有机污染物。传统 Bayard-Alpert（B-A 型）电离真空计因栅极结构开放、灯丝暴露面积大，极易被污染物附着导致发射电流漂移、灵敏度下降，甚至灯丝烧断，造成非计划停机和维护成本攀升。

ULVAC（爱发科）ST200 系列三极管型电离真空计正是针对这一痛点推出的换代产品。作为 ULVAC Multi Ionization Gauge 产品线的两大系列之一，ST200 采用 Triode（三极管）结构设计，灯丝与收集极布局更耐污染，适合高污染真空环境下的长期稳定运行。同时，该产品延续了新一代复合真空计的全部升级特性：控制器体积较上一代缩减 56%、支持灯丝寿命预警、可通过 PC/Android 端软件 UL-MOBI 进行远程设定与数据监控，并可搭配皮拉尼单元 SWU10-R 与压力传感器单元 SAU 扩展量程至大气压。

核心参数

参数项	ST200-A	ST200-R
产品类型	三极管型电离真空计	三极管型电离真空计
测量范围	1×10⁻⁸ ~ 1×10⁻¹ Pa	1×10⁻⁸ ~ 1×10⁻¹ Pa
测量精度	±10%（1×10⁻⁸~3×10⁻⁶ Pa）；±15%（7.5×10⁻⁷~2×10⁻² Torr）	±15%
灯丝配置	1 根（Ir/Y₂O₃）	2 根（Ir/Y₂O₃）
脱气方式	电子轰击	电子轰击
测量值输出	LOG 输出（DC 0~10V）	LOG 输出（DC 0~10V）
设定点	3 点（集电极开路输出）	无
串行通信	RS232C / RS485	RS232C / RS485
电源电压	DC 20~28V	DC 20~28V
外形尺寸	69×63×125 mm	69×63×125 mm
可选传感器头	SWT-16（KF16）、SWT-25（KF25）	SWT-16（KF16）、SWT-25（KF25）
可扩展单元	皮拉尼传感器单元 SWU10-R、压力传感器单元 SAU	皮拉尼传感器单元 SWU10-R、压力传感器单元 SAU
适用标准	CE	CE

应用场景

1. 真空镀膜行业磁控溅射、蒸发镀膜、DLC 镀膜等工艺中，靶材飞溅和膜层副产物易污染真空计。ST200 的三极管结构可有效降低污染物对灯丝和收集极的直接影响，配合电子轰击脱气功能，维持长期测量稳定性。

2. 半导体制造工艺刻蚀、CVD、离子注入等腔体存在反应气体和聚合物副产物，ST200-R 双灯丝配置可在一根灯丝老化时无缝切换，配合灯丝寿命报警功能，在灯丝断裂前提前预警更换时机，避免晶圆批次报废风险。

3. 科研与工业高污染真空系统材料科学实验、粉末冶金、真空热处理等场景中，挥发性物质和粉尘较多。ST200 可作为独立真空计使用，也可接入主机系统进行统一控制，满足从高真空到超高真空的连续监测需求。

4. Load-lock 腔体扩展应用搭配 SWU10-R 皮拉尼单元和 SAU 压力传感器单元后，ST200 可实现从超高真空到大气压的全量程覆盖，适用于 Load-lock 过渡腔体的大气压检查和真空联锁控制，减少多表拼接带来的校准和维护负担。

总结

ULVAC ST200 三极管型电离真空计以耐污染的 Triode 结构为核心，搭配灯丝寿命预警、电子轰击脱气、双灯丝冗余（ST200-R）等设计，系统性解决了高污染真空环境下传统电离真空计寿命短、漂移大、停机频繁的痛点。其紧凑化机身、可扩展量程架构以及 PC / 移动端远程监控能力，进一步降低了运维成本。对于真空镀膜、半导体工艺、科研高污染腔体等场景，ST200 是一款兼顾稳定性、可维护性和扩展性的高真空测量优选方案。

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