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产品型号：OKANO AMC-202N-NW16
更新时间：2026-08-22简要描述：OKANO AMC-202N-NW16 冈野 热传导式 微型线圈真空计 半导体 FA用 微型线圈真空计依托热传导原理检测真空压力，自带加热清洗可抵御油污污染，支持数据采集、报警输出与参数校准。适用于半导体、真空镀膜、热处理、真空检漏行业，用于各类真空腔体真空度监测，可改为分体式，适配振动大、工况复杂的真空设备。
| 品牌 | 其他品牌 | 产地类别 | 进口 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 综合 |
该产品是日本冈野制作所（OKANO）的热传导式微型线圈真空计，广泛用于半导体、真空设备、镀膜工艺等真空压力检测场景。
测量原理：基于气体热传导原理，实现宽量程真空测量。传感丝采用微型线圈结构，抗振动、抗冲击性能优异。
高温加热清洗：自带高温加热功能，可去除油污附着物，具备清洗功能，适合易污染的真空环境。
软件配套：配套专用 PC 测量软件，支持测量数据保存、上下限输出设定、零点校正、量程校正。
分体改造可选：选配传感器电缆，可把一体式整机改为分体式结构，适配狭小、高温设备腔体。
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 连接法兰 | NW16 KF 法兰 |
| 测量范围 | 5.0×10-2 ～ 1.0×105 Pa |
| 测量精度 | 5.0×10-2 ～ 5.0×10-1 Pa ±30％ 5.0×10-1 ～ 1.0×104 Pa ±20％ 1.0×104 ～ 1.0×105 Pa ±30％ |
| 移动平均滤波 | 1‑3 秒可设定 |
| 记录仪输出 | 0‑5VDC（负载电阻≥2kΩ） |
| 开关输出 | Hi/Go/Lo 三状态继电器接点输出（无电压接点） |
| 通信接口 | USB2.0 Micro‑USB‑B |
| 供电 | DC12‑24V；使用 AC 适配器时 USB 通信不可用 |
| 外形尺寸 | 72×50×42 mm（不含法兰突出部分） |
| 附件 | 原厂测量软件 |
机身自带红色 LED 数字显示屏，直接显示真空压力，单位 Pa。
后部接口：RECORDER/RELAY 多针接口，用于模拟输出、继电器开关信号；Micro‑USB 用于电脑通信。
面板按键可完成参数设置、零点校准等操作。
半导体设备、真空镀膜、热处理、检漏设备、各类工业真空腔体的真空度监测；适合振动大、存在油汽污染的工况。
同系列还有 NPT 螺纹接口版本 AMC‑202N32‑NPT，用于螺纹管路安装。
OKANO AMC-202N-NW16 冈野 热传导式 微型线圈真空计 半导体 FA用 微型线圈真空计依托热传导原理检测真空压力，自带加热清洗可抵御油污污染，支持数据采集、报警输出与参数校准。适用于半导体、真空镀膜、热处理、真空检漏行业，用于各类真空腔体真空度监测，可改为分体式，适配振动大、工况复杂的真空设备。
OKANO AMC-202N-NW16 冈野 热传导式 微型线圈真空计 半导体 FA用 微型线圈真空计依托热传导原理检测真空压力，自带加热清洗可抵御油污污染，支持数据采集、报警输出与参数校准。适用于半导体、真空镀膜、热处理、真空检漏行业，用于各类真空腔体真空度监测，可改为分体式，适配振动大、工况复杂的真空设备。
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