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产品型号：INFICON PSG502-S/PSG512-S
更新时间：2026-08-22简要描述：INFICON PSG502‑S、PSG512‑S 半导体耐腐蚀真空计 镍灯丝+陶瓷穿板，耐受腐蚀性工艺气体，完成粗‑中真空压力监测。‑S 型号具备两路可调节继电器干接点输出，可外接 PLC 实现真空状态信号输出。适配半导体湿法腔体、镀膜、科研真空系统等存在腐蚀性介质的真空工况。
| 品牌 | 其他品牌 | 价格区间 | 面议 |
|---|---|---|---|
| 产地类别 | 进口 | 应用领域 | 电子/电池,包装/造纸/印刷,汽车及零部件,综合,半导体 |
这是英福康 INFICON的数字皮拉尼（Pirani）热传导真空规，用于粗真空‑中真空段压力测量，广泛用于半导体设备、普通真空管路系统。
PSG500：无设定点，钨灯丝、玻璃馈通
PSG500‑S：2 路设定点，钨灯丝、玻璃馈通
PSG502‑S：2 路设定点，镍灯丝、玻璃馈通（适配腐蚀性气体）
PSG510‑S：2 路设定点，钨灯丝、陶瓷馈通（强腐蚀工况）
PSG512‑S：2 路设定点，镍灯丝、陶瓷馈通（强腐蚀 + 腐蚀气体）
S 后缀 = 带 2 个继电器设定点输出；陶瓷馈通型号抗腐蚀等级更高，镍灯丝适合腐蚀性气体环境。
操作便捷：单按键完成大气压 ATM、高真空 HV 零点校准
结构坚固小巧：铝外壳，全不锈钢测量腔体，安装姿态不影响测量精度，设备布局自由度高
信号友好：对数输出电压信号，便于 PLC / 控制器采集集成
耐压与烘烤：螺纹接口版本可承受10bar 绝对过压；支持 250℃烘烤版本可选
腐蚀适配：镍灯丝选项；PSG510‑S / PSG512‑S 采用陶瓷馈通，适配非常强腐蚀气体
合规：RoHS 环保；部分型号带继电器设定点开关输出，可直接做安全联锁
控制高真空电离规的启停
真空压力实时监测
真空系统安全联锁回路
粗真空、中真空区间通用真空测量与控制，半导体设备、真空管路、工艺腔体
测量原理：皮拉尼热传导原理
量程：5×10⁻⁴ ~ 1000 mbar
精度
1×10⁻³~100 mbar：读数 ±15%
5×10⁻⁴~1×10⁻³ mbar、100‑1000 mbar：读数 ±50%
输出信号：0‑10.3V 对数电压输出，1.286V / 十倍压力；灯丝断丝输出 0‑0.5V 错误信号
响应时间：80 ms
供电：DC +14~30V，功耗＜1W
设定点（‑S 型号）：2 个继电器触点，30VDC/0.5A 浮接点，切换时间＜20ms，可用于报警、泵控联锁
真空接口：丰富可选 DN16 ISO‑KF、DN16 CF‑R、VCR、NPT、管接头、长管版本
工作温度：+5~+60℃；烘烤最高 250℃（特定版本）
防护等级 IP40
完整型号编码包含：系列、灯丝类型（钨 / 镍）、馈通（玻璃 / 陶瓷）、真空接口形式
提供可更换传感器探头备件，分新版传感器、老版本传感器备件号，直接替换无需整机更换。
| 型号 | 适用场景 |
|---|---|
| PSG500 | 普通真空，不需要开关报警输出 |
| PSG500‑S | 普通气体，需要 2 路报警联锁 |
| PSG502‑S | 腐蚀性气体，玻璃馈通 |
| PSG510‑S | 强腐蚀工艺，陶瓷馈通，普通气体 |
| PSG512‑S | 强腐蚀工艺 + 腐蚀性气体，镍灯丝 + 陶瓷馈通 |
INFICON PSG502‑S、PSG512‑S 半导体耐腐蚀真空计 镍灯丝+陶瓷穿板，耐受腐蚀性工艺气体，完成粗‑中真空压力监测。‑S 型号具备两路可调节继电器干接点输出，可外接 PLC 实现真空状态信号输出。适配半导体湿法腔体、镀膜、科研真空系统等存在腐蚀性介质的真空工况。
INFICON PSG502‑S、PSG512‑S 半导体耐腐蚀真空计 镍灯丝+陶瓷穿板，耐受腐蚀性工艺气体，完成粗‑中真空压力监测。‑S 型号具备两路可调节继电器干接点输出，可外接 PLC 实现真空状态信号输出。适配半导体湿法腔体、镀膜、科研真空系统等存在腐蚀性介质的真空工况。
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