非接触式平面度测量仪晶圆到金属磨削工件

简要描述：technomu TFL3100 非接触式平面度测量仪晶圆到金属磨削工件测量对象可涵盖从晶圆到金属磨削工件，乃至透明玻璃等各类材料。该设备具备自动判定工件合格与不合格的检测功能。

品牌	其他品牌	产地类别	进口
应用领域	化工,钢铁/金属,综合,半导体,机械设备

TFL3100 非接触式平面度测量仪

　采用XY轴门型结构，实现工作台的小型化

【功能概要】

使用激光位移传感器，将工件固定住，
在移动传感器的同时，以非接触方式高精度测量工件表面在高度方向上的位移量，并通过专用软件计算平面度。

测量对象可涵盖从晶圆到金属磨削工件，乃至透明玻璃等各类材料。
该设备具备自动判定工件合格与不合格的检测功能。

	・	以低廉价格实现高精度测量
	・	高速XY载物台，数据采集高速
	・	由于是非接触式，无需担心损伤被测对象
	・	受被测对象影响极小
	・	可测量从晶圆到金属磨削件乃至透明玻璃
	・	采用石质工作台，可实现长时间稳定的测量
	・	多种测量模式，实现高速测量
	・	通过预先设定工件的判定基准值，可自动判断合格或不合格
	・	我们将根据工件需求定制测量台等装置（欢迎咨询）
	・	测量区域：200×200mm、300×300mm，也可根据需求定制
	・	测量方式：XY扫描式
	・	可用激光位移传感器：三角测量法、共焦法、光谱干涉激光法、多激光同轴
	・	分辨率：～0.001μｍ（最大）

technomu TFL3100 非接触式平面度测量仪晶圆到金属磨削工件 测量对象可涵盖从晶圆到金属磨削工件，乃至透明玻璃等各类材料。该设备具备自动判定工件合格与不合格的检测功能。

非接触式平面度测量仪 晶圆到金属磨削工件