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产品型号：PG-D5A/PG-20B/PG-3FM
更新时间：2026-08-22简要描述：皮拉尼Pirani真空计 半导体FA真空制程用 PG-D5A/PG-20B/PG-3FM PG‑D5A 皮拉尼真空计可实现大气压至低真空段压力检测，具备多路接点输出与模拟信号输出，支持扩展通信、BCD 输出功能，多用于真空腔体压力监控、联锁报警。适配半导体、镀膜设备、工业真空装置、FA 自动化设备等行业，实现设备真空工况监测与自动化控制。
| 品牌 | 其他品牌 | 价格区间 | 面议 |
|---|---|---|---|
| 产地类别 | 进口 | 应用领域 | 化工,能源,电子/电池,综合,半导体 |
这是一款日本产皮拉尼（Pirani）真空计，用于测量真空压力，适配半导体、FA 自动化设备、各类真空制程设备。
可测量从大气压到 0.13Pa 的宽压力区间，同时具备数字数值显示 + 棒状图表显示，读数直观。
不受线缆长度带来的性能影响
配备6 路继电器接点输出，6 个设定点可自由分配，用于阈值报警、设备联锁控制
可选配件：3 通道传感器、通信功能、BCD 输出等扩展选件，适配设备控制、FA 工厂自动化系统等多种应用场景。
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 测量范围 | 1×105 ～1.3×10-1 Pa |
| 压力单位 | Pa |
| 控制输出 | ①继电器接点输出：AC110V AC0.5A（电阻负载），共 6 点②记录仪输出：满量程 DC5V / 10V 可切换 |
| 电源电压 | AC100‑240V ±10%，50/60Hz，30VA |
| 外形尺寸 | W144 × D220 × H96 mm |
| 重量 | 1.8 kg |
| 测量探头 | PD‑3 型，φ15 螺纹端口安装 |
宽量程：覆盖大气压到低真空区间，适合粗真空、低真空工况；
可视化双显示：数字读数 + 棒图，方便现场直观判断真空状态；
丰富的开关量 / 模拟量输出：6 路继电器接点 + 模拟记录输出，可直接对接 PLC，实现真空压力联锁、报警；
扩展性强：可加装通信接口、BCD 输出、多通道传感器，适配自动化产线；
线缆无影响：传感器线缆长短不会影响测量精度，安装布局灵活。
皮拉尼Pirani真空计 半导体FA真空制程用 PG-D5A/PG-20B/PG-3FM PG‑D5A 皮拉尼真空计可实现大气压至低真空段压力检测，具备多路接点输出与模拟信号输出，支持扩展通信、BCD 输出功能，多用于真空腔体压力监控、联锁报警。适配半导体、镀膜设备、工业真空装置、FA 自动化设备等行业，实现设备真空工况监测与自动化控制。
皮拉尼Pirani真空计 半导体FA真空制程用 PG-D5A/PG-20B/PG-3FM PG‑D5A 皮拉尼真空计可实现大气压至低真空段压力检测，具备多路接点输出与模拟信号输出，支持扩展通信、BCD 输出功能，多用于真空腔体压力监控、联锁报警。适配半导体、镀膜设备、工业真空装置、FA 自动化设备等行业，实现设备真空工况监测与自动化控制。
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