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电离真空计IV‑55探头半导体镀膜高真空检测

  • 产品型号:PHIL B-A TYPE IG-D7A
  • 更新时间:2026-08-22

简要描述:电离真空计IV‑55探头半导体镀膜高真空检测 依托 B‑A 规实现高真空区间精准检测,具备通讯、BCD、接点输出功能,适配设备 FA 自动化控制。多用于真空镀膜、热处理、半导体、科研实验等高真空工况,可对接 PLC 完成真空联锁监测,常搭配皮拉尼计实现全量程真空监控。

产品详情
品牌其他品牌价格区间面议
产地类别进口应用领域化工,电子/电池,汽车及零部件,综合,半导体

IG‑D7A 是日本佐藤真空(SATOVAC)生产的热阴极 B‑A 规电离真空计,用于高真空测量,支持外部控制、通讯、BCD 输出,适配工业自动化 FA 场景。

产品特点

  1. 多功能高精度,适配多种工况;

  2. 丰富扩展接口:外部控制、通讯功能、BCD 输出,可对接设备自动化系统;

  3. 带模拟记录输出 + 2 路继电器接点输出,可实现真空阈值联锁控制;

  4. 数字显示,B‑A 球(Bayard‑Alpert)热阴极传感器,测量高真空区间佐藤真空株...。


核心规格参数佐藤真空株...

项目参数
测量范围9.9×10⁻²~1×10⁻⁷ Pa
压力单位Pa(帕斯卡)
传感器方式B‑A 球(B‑A 规,热阴极电离规)
控制输出记录仪输出:全量程 DC5V / DC10V 可切换接点输出:2 点,110V AC 0.5A(阻性负载)
供电电源AC100V/120V/240V ±10%,50/60Hz,85VA
外形尺寸W144 × D340 × H96 mm
整机重量4.0 kg
配套测量探头IV‑55 型,φ15 标准规管接口安装








应用场景

真空镀膜、真空热处理、扩散泵真空系统、半导体设备、各类需要高真空监测与自动化联锁的工业设备,可对接 PLC 做真空工艺闭环控制。

说明:B‑A 电离规只适合高真空区间,不能测大气压 / 低真空,需要搭配皮拉尼真空计(PG 系列)组合使用,实现从低真空到高真空全量程监测。



电离真空计IV‑55探头半导体镀膜高真空检测 依托 B‑A 规实现高真空区间精准检测,具备通讯、BCD、接点输出功能,适配设备 FA 自动化控制。多用于真空镀膜、热处理、半导体、科研实验等高真空工况,可对接 PLC 完成真空联锁监测,常搭配皮拉尼计实现全量程真空监控。

电离真空计IV‑55探头半导体镀膜高真空检测 依托 B‑A 规实现高真空区间精准检测,具备通讯、BCD、接点输出功能,适配设备 FA 自动化控制。多用于真空镀膜、热处理、半导体、科研实验等高真空工况,可对接 PLC 完成真空联锁监测,常搭配皮拉尼计实现全量程真空监控。







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