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岡野 皮拉尼真空计 半导体真空设备监测

  • 产品型号:OKANO APG-202N32-02-NW16
  • 更新时间:2026-08-22

简要描述:该 OKANO APG 皮拉尼真空计 岡野 皮拉尼真空计 半导体真空设备监测 用于 0.1Pa~10000Pa 区间真空度检测,具备模拟、继电器、RS232 多信号输出,支持报警联锁与数据采集。适配真空腔体、镀膜、热处理设备,广泛应用半导体、精密制造等行业,可面板安装,适配设备集成与工况监测。

产品详情
品牌其他品牌产地类别进口
应用领域化工,能源,电子/电池,综合,半导体

这是日本 OKANO WORKS 生产的皮拉尼(Pirani)热传导式真空计,用于低真空范围测量,整机分为显示控制器主机 + APG 真空传感器两部分,日本制造,主打薄型小巧、传感器坚固、性价比高。

岡野 皮拉尼真空计 半导体真空设备监测

一、核心测量参数

  1. 测量范围:\(2.0×10^ \sim 2.0×10^\ \mathrm\)

  2. 显示范围:\(1.0×10^ \sim 1.0×10^\ \mathrm\)

  3. 显示:红色 7 段 LED 数码管,尾数 2 位 + 指数 1 位;刷新周期 0.5 秒

  4. 传感器:圆筒 φ18mm,BS 材质,内置白金灯丝;线缆可选 2m/5m/10m/20m 四种长度


二、输出信号

  • 模拟输出:0‑5V,负载阻抗≥2kΩ,量程内线性输出

  • 比较继电器输出:HI / GO / LO 三点开关量,AC250V 2A / DC30V 2A,可做真空阈值报警、设备联锁

  • 通讯接口:RS‑232C 标准,支持上位机数据采集


三、电气与环境

  • 供电:DC12‑24V 直流;可选 AC 适配器,适配 AC100‑120V(适配器为选配件)

  • 工作温度:0 ~ +50℃(不含 AC 适配器)

  • 移动平均滤波:0.5‑9 秒可设置,抑制测量数值跳动


四、物理规格

  • 控制器外形:96 (W)×96 (H)×46.7 (D) mm,标准 96 方形盘面,支持面板嵌入安装

  • 重量:主机约 350g;传感器约 300g

  • 标准附件:φ18 传感器、传感器电缆、桌面支架、面板安装五金件、记录仪通信接头、密封垫片


五、产品特点 & 应用场景

  • 薄型紧凑结构,面板安装方便;传感器结构牢固,成本友好 

  • 同时具备模拟量、继电器接点、RS232 通讯,适配设备 PLC、记录仪、上位机系统 

  • 继电器三点输出,可实现真空度高低报警、泵体 / 腔体联锁控制


适用场景:半导体设备、真空腔体、真空镀膜、热处理、通用工业设备低真空监测。




该 OKANO APG 皮拉尼真空计 岡野 皮拉尼真空计 半导体真空设备监测 用于 0.1Pa~10000Pa 区间真空度检测,具备模拟、继电器、RS232 多信号输出,支持报警联锁与数据采集。适配真空腔体、镀膜、热处理设备,广泛应用半导体、精密制造等行业,可面板安装,适配设备集成与工况监测。

该 OKANO APG 皮拉尼真空计 岡野 皮拉尼真空计 半导体真空设备监测 用于 0.1Pa~10000Pa 区间真空度检测,具备模拟、继电器、RS232 多信号输出,支持报警联锁与数据采集。适配真空腔体、镀膜、热处理设备,广泛应用半导体、精密制造等行业,可面板安装,适配设备集成与工况监测。





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