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更新时间：2026-03-09 
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产品名称：EC-80P Non-Contact Type (非接触式)
测量原理：涡流法 (Eddy Current method)
启动方式：探头接触样品自动开始测量
测量模式：提供三种模式，分别为晶圆电阻率、体电阻率和薄层电阻（Sheet Resistance）。
该设备的测量范围取决于所选的探头类型，具体参数如下表所示：
| 参数 | 低阻探头 | 中阻探头 | 高阻探头 | 超高阻探头 | 太阳能晶圆探头 |
|---|---|---|---|---|---|
| 电阻率 (Ω.cm) | 0.001 - 0.05 | 0.05 - 0.5 | 0.5 - 60.0 | 60.0 - 200.0 | 0.2 - 15.0 |
| 薄层电阻 (Ω/Sq) | 0.01 - 0.5 | 0.5 - 10.0 | 10.0 - 1k | 1k - 3k | 5 - 500 |
适用材料：
半导体与光伏：硅 (Silicon)、多晶硅、碳化硅 (SiC) 等。
功能材料：碳纳米管、DLC（类金刚石碳）、石墨烯、银纳米线等。
导电薄膜：金属、ITO（氧化铟锡）等。
化合物半导体：砷化镓外延 (GaAs Epi)、氮化镓外延 (GaN Epi)、磷化铟 (InP) 等。
操作特点：通过 JOG 旋钮 即可轻松设置测量条件。
该设备专为半导体及光伏行业设计，通过非接触式涡流技术实现对多种导电材料的快速电阻率检测，覆盖了从低阻到超高阻的广泛测量需求。
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