热门关键词： SM-100S / SM-100P大塚OTSUKA Yamato玻璃塑料基材薄膜测厚仪 SM-100S / SM-100P大塚SM-100光学干涉法无损薄膜厚度测量仪 SM-100S StandardYamato Scientific 膜厚计涂层厚度检测仪 Otsuka Yamato智能膜厚计SM-100P Pro测厚仪 proceq / PM8500Profometer建筑腐蚀电位结构调查钢筋锈蚀仪 PM8000 Proproceq建筑混凝土保护层钢筋直径方面测量仪 PM8000 Proproceq建筑钢筋定位保护层厚度检测仪 PM8000 ProScreeningEagle桥梁隧道水泥建筑安全检测仪 PM8000 Pro瑞士Proceq新建建筑钢筋保护层质量控制仪 PM8000 ProProfometer 建筑工程混凝土保护层测定仪 SCREEN VM-1020显微镜式光学干涉膜厚测量仪 VM-1020SCREEN OLED/液晶/半导体晶圆检测用干涉仪 VM-1020SCREEN 光干涉膜厚仪 2-12寸晶圆通用 KRM 311日本关西电子 Survey meter 表面污染测量仪 No.351-B / No.22100藤原FUJIWARA 山中式土壤硬度计土壤测定仪 TI300 / TI-900SE日本MCT TI-100/TI200高速振動試料粉砕機

products

产品分类

技术文章/ article

您的位置：首页 - 技术文章 - Technomate SSBL-37.5A高压泵：如何解决半导体晶片清洗与屏幕打磨难题？

Technomate SSBL-37.5A高压泵：如何解决半导体晶片清洗与屏幕打磨难题？

更新时间：2026-06-11

浏览次数：81

在半导体晶片清洗与屏幕打磨等精密制造环节中，高压泵浦的性能直接决定了工艺参数的稳定性。日本Technomate SSBL-37.5A系列嵌入式小型高压泵浦通过空气驱动与特定材料密封设计，从压力控制、空间适配及介质兼容性三个维度解决工艺难题。

Technomate SSBL-37.5A高压泵：如何解决半导体晶片清洗与屏幕打磨难题？

1. 解决高压输出与流量控制难题

半导体晶片清洗要求高压液体具备精确的喷射力，以剥离表面薄膜与颗粒。SSBL-37.5A型号在0.5MPa的标准驱动气压下，可将排出压力稳定提升至17.6MPa，排出流量为0.58L/min。该压力区间（1.76～17.6MPa）可通过调节气源压力进行线性控制，满足晶片清洗设备对高压纯水或IPA（异丙醇）的精准喷射需求，保障清洗良率。

2. 解决设备空间受限与嵌入安装难题

自动化打磨与清洗设备内部空间紧凑。SSBL-37.5A系列采用紧凑型设计，物理尺寸严格控制在宽123mm × 高116mm × 深296.5mm。该尺寸规格使其能够直接嵌入半导体清洗设备（喷射清洗）、污染物清洗设备及抛光垫维护设备内部，无需额外占用外部空间。

3. 解决特殊化学介质腐蚀与防爆难题

屏幕打磨与晶片剥离工艺常涉及NMP（N-甲基吡咯烷酮）等强溶剂，且部分区域需防火防爆。SSBL-37.5A系列增压部分采用氟树脂和超高分子量聚乙烯作为密封材料。针对NMP介质，该型号提供Kalrez规格O型圈配置，确保在接触强溶剂时不发生腐蚀与泄漏。同时，其纯空气驱动设计（驱动气压范围0.05～0.5MPa，气耗量约70L/min@60SPM）从根本上杜绝了电气火花风险，满足防爆区域的安全作业标准。

综上，SSBL-37.5A系列高压泵浦凭借17.6MPa的最高排出压力、123×116×296.5mm的紧凑体积，以及针对NMP介质的Kalrez密封配置，为半导体晶片清洗与屏幕打磨提供了具备确切数据支撑的流体控制方案。

公司简介 > 在线留言 > 联系我们 >

产品中心: 仪器; AUNWORKS; 接头; Nitty-Gritty; Yasui Kikai; CEM; Gerber; Reka; New Cosmos; dentsu sangyo; ETher NDE; GRAPHTEC; Santec; Toho Tech; Solid State; VMA-Getzmann; BYK; saginomiya; OTARI; E+E; NF千代田; YAMADA KOGAKU; NITTOSEIKO; SanRex; interscience; KE; DAICO MFG; FUKUDA; COSMO; YAMAHO; AE; BRUCKNER; RÖHM; roehm; MINOGA; GOEI; Advance Riko; Surface Optics; DIVERSE; AET; TR; RUFUTO; EC FRONTIER

CONTACT

EMAIL：jiuzhou_hgx@163.com

扫码微信联系

版权所有©2026 深圳九州工业品有限公司 All Rights Reserved 备案号：粤ICP备2023038974号 sitemap.xml技术支持：化工仪器网管理登陆