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真空计 半导体镀膜热处理中低真空检测

  • 产品型号:SHIBAURA PG-20S / PG-30S
  • 更新时间:2026-08-22

简要描述:SHIBAURA PG-20S / PG-30S 真空计 半导体镀膜热处理中低真空检测 搭配 WP‑02 探头,用于 1.0×10⁻¹~1.0×10⁴Pa 中低真空压力检测,具备继电器、模拟信号输出。适配各类真空泵组,可实现真空监测与阈值联锁控制,多用于半导体、真空镀膜、热处理、科研实验室、包装等行业真空设备工况监控。

产品详情
品牌其他品牌价格区间面议
产地类别进口应用领域包装/造纸/印刷,汽车及零部件,综合,半导体,机械设备

PG‑20S、PG‑30S 是皮拉尼式热传导真空计,用于中低真空测量,广泛搭配各类真空泵使用。

真空计 半导体镀膜热处理中低真空检测

产品特点

  1. 宽测量量程:\(\boldsymbol \sim 1.0×10^\ \mathrm}\)

  2. 定温度型:抗故障能力强,稳定性好

  3. 大数字显示屏,读数直观可视性好

  4. 控制器机身小巧,节省安装空间


性能规格

项目PG‑20S / PG‑30S 参数
测量范围\(1.0×10^ \sim 1.0×10^\ \mathrm\)
输出信号①继电器接点输出:AC100V,1A;可设置 2 个压力阈值,低于设定压力输出开启②模拟输出:0‑5VFS,1V/1 位,输出阻抗 1kΩ
使用环境温度 5‑40℃,湿度≤90%,禁止结露
供电交流:AC85‑132V,12VA 以下;直流:DC24V±10%,8W 以下
外形尺寸96 (W) ×120 (D) ×96 (H) mm(不含凸起)
面板开孔92 (W) ×92 (H) mm,标准 96 盘装仪表
附属品3 米传感器电缆 1 根;测定子探头WP‑02(外径 15mm);外径 18mm 探头为选配件

WP‑02 是皮拉尼传感器探头,7 针接口,探头总长 96mm。


适用真空区间

PG‑20S/30S 工作区间覆盖低真空~中真空,适配:活塞泵、油旋转真空泵、罗茨泵等真空机组。

适用压力区间:\(10^\mathrm \sim 10^\mathrm\),不适合高真空、超高真空。


使用禁止环境

不要在以下场景使用:

  1. 环境温度超出 5‑40℃

  2. 振动、粉尘大的场所

  3. 高湿、容易结露环境

  4. 存在有机溶剂、爆炸性粉尘环境

  5. 密闭箱体内部

  6. 强磁场附近

  7. 雨水可淋到的位置

安装时必须接地;探头不要用手直接触碰;务必阅读配套说明书后再安装使用。


补充

样本附带完整压力单位换算表,支持 MPa、Pa、mmHg (Torr)、atm、psi 等真空行业常用单位互相换算,方便现场工艺对照。




SHIBAURA PG-20S / PG-30S 真空计 半导体镀膜热处理中低真空检测 搭配 WP‑02 探头,用于 1.0×10⁻¹~1.0×10⁴Pa 中低真空压力检测,具备继电器、模拟信号输出。适配各类真空泵组,可实现真空监测与阈值联锁控制,多用于半导体、真空镀膜、热处理、科研实验室、包装等行业真空设备工况监控。

SHIBAURA PG-20S / PG-30S 真空计 半导体镀膜热处理中低真空检测 搭配 WP‑02 探头,用于 1.0×10⁻¹~1.0×10⁴Pa 中低真空压力检测,具备继电器、模拟信号输出。适配各类真空泵组,可实现真空监测与阈值联锁控制,多用于半导体、真空镀膜、热处理、科研实验室、包装等行业真空设备工况监控。






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