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产品型号：Nano系列Micro 40/60/80 i4
更新时间：2026-09-19简要描述：超小型主动隔振台 AFM/STM精密测量 Nano系列Micro 40/60/80 i4 超小型主动隔振台通过振动传感与电子反馈实现六自由度主动隔振，无需气源即达纳米级隔振效果，性能远超传统空气弹簧。适用于AFM/STM、MEMS制造、光刻、光纤对准、激光调整、精密光学、干涉仪及运动控制，覆盖半导体、精密仪器行业。
| 品牌 | 其他品牌 | 产地类别 | 进口 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 环保,化工,能源,电子/电池,综合 |
超高性能传感器 + 6自由度主动控制：实现远超传统空气弹簧被动隔振台的隔振性能
无需共振频率：不存在共振峰值问题
搭载质量8kg（Nano 20型号）
无需气源：不需要压缩空气等外部气源
可宅配运输：轻巧便携，可通过快递运输
超精密测量环境：可实现"纳米级以下"的超精密测量振动环境
可选配件：提供防音、防震BOX（隔音防震箱）
| 项目 | Nano 20 | Nano 30 | Micro 40 | Micro 60 | Micro 80 | i4 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 隔振频率范围 | 1~200Hz | — | 0.6~200Hz | — | — | — |
| 隔振能力 | >5Hz: 23dB(93%) / >15Hz: 40dB(99%) | — | >5Hz: 25dB(94.4%) / >10Hz: 40dB(99%) | — | — | — |
| 衰减时间 | 300ms | — | — | — | — | — |
| 承载质量 | 0~8kg | 5~25kg | 0~100kg | — | — | ~120kg |
| 执行器最大推力 | 垂直±8N，水平±4N | — | — | — | — | — |
| 外形尺寸(本体) | 204(W)×204(D)×69(H) mm | 400×300×75 mm | 406×446×137 mm | 602×646×154 mm | 602×846×154 mm | 400×500×90 mm |
| 产品重量 | 本体5.6kg + 控制单元2.1kg | 本体11.3kg + 控制单元2.1kg | 27.8kg | 43.3kg | 55kg | 20kg |
| 功耗 | 30~50W | 40~55W | — | — | — | 130W |
| 电源 | 100~250VAC, 47~63Hz | — | — | — | — | — |
| 工作环境 | 温度10~40℃，湿度0~60%，海拔2500m | — | — | — | — | — |
注：部分规格单元格在PDF中为合并单元格，未完的全的展示所有型号的完整数据。
AFM（原子力显微镜）、STM（扫描隧道显微镜）测量
MEMS（微机电系统）制造设备
光纤对准装置
激光光轴调整
母版制作、光刻
高倍率光学显微镜
干涉仪、光谱测量装置
精密运动控制
其他对振动敏感的测量和制造设备
总结：这是一款面向精密测量和微细制造领域的高的端的主动隔振台产品，最大亮点是超小型化（Nano 20本体仅204mm见方、重5.6kg）和高性能（隔振效率高达99%以上），同时无需气源、可快递运输，使用非常方便。
超小型主动隔振台 AFM/STM精密测量 Nano系列Micro 40/60/80 i4 超小型主动隔振台通过振动传感与电子反馈实现六自由度主动隔振，无需气源即达纳米级隔振效果，性能远超传统空气弹簧。适用于AFM/STM、MEMS制造、光刻、光纤对准、激光调整、精密光学、干涉仪及运动控制，覆盖半导体、精密仪器行业。
超小型主动隔振台 AFM/STM精密测量 Nano系列Micro 40/60/80 i4 超小型主动隔振台通过振动传感与电子反馈实现六自由度主动隔振，无需气源即达纳米级隔振效果，性能远超传统空气弹簧。适用于AFM/STM、MEMS制造、光刻、光纤对准、激光调整、精密光学、干涉仪及运动控制，覆盖半导体、精密仪器行业。
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