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产品型号：G-TRAN ST200-A SH200-R
更新时间：2026-08-22简要描述：ULVAC SH200/ST200 ULVAC复合电离真空计 半导体真空镀膜宽量程 复合电离真空计用于超高真空至高真空环境的压力精确测量，可搭配皮拉尼 / 压力传感器扩展至大气压，支持灯丝寿命预警与远程数据监控。适用于半导体制造、真空镀膜、科研腔体、Load-lock 工艺及高污染真空环境等场景。
| 品牌 | 其他品牌 | 价格区间 | 面议 |
|---|---|---|---|
| 产地类别 | 进口 | 应用领域 | 电子/电池,汽车及零部件,综合,半导体 |
这是 ULVAC（爱发科）Multi Ionization Gauge（复合电离真空计），包含 SH200 系列和 ST200 系列，是一款面向真空测量场景的换代产品。
按应用场景分为两个系列：
| 系列 | 类型 | 适用场景 |
|---|---|---|
| SH200 | Bayard-Alpert（B-A 型）电离真空计 | 超高真空测量 |
| ST200 | Triode（三极管型）电离真空计 | 高污染环境应用 |
1. ULVAC 自有概念 —— 可换头、可扩展
支持连接不同测量范围的传感器头，故障时仅需更换最少部件
可搭配选件扩展量程：
SH200 + SWU10-R（皮拉尼单元）：从高真空 / 超高真空扩展至大气压
SH200 + SWU10-R + SAU（压力传感器单元）：三重组合，支持 load-lock 大气压检查
可作为主机系统的真空计进行控制
2. 紧凑化设计
控制器体积比上一代减少 56%，达到世的界的最的小的级别
3. 更高可用性
通过专用软件 UL-MOBI 连接 Windows PC 或 Android 设备
支持设定点设置（无需主机供电）、实时趋势图、错误状态显示、CSV 数据记录
4. 灯丝寿命报警功能
通过监测灯丝功率，在灯丝断裂前提前提示传感器头更换时机，避免突发停机
5. 双系列覆盖不同污染等级
ST200 三极管型更适合污染较重的工艺环境
| 参数 | ST200-A / ST200-R | SH200-A / SH200-R |
|---|---|---|
| 测量范围 | 1×10⁻⁸ ~ 1×10⁻¹ Pa | 5×10⁻⁸ ~ 1×10⁻¹ Pa |
| 精度 | ±10% ~ ±15% | ±15% |
| 灯丝 | 1 根 (Ir/Y₂O₃) | 2 根 (Ir/Y₂O₃) |
| 脱气方式 | 电子轰击 | 电子轰击 |
| 输出 | LOG 输出 (DC 0~10V) | LOG 输出 (DC 0~10V) |
| 设定点 | 3 点（集电极开路） | 3 点（集电极开路） |
| 通信 | RS232C / RS485 | RS232C / RS485 |
| 电源 | DC 20~28V | DC 20~28V |
| 尺寸 | 69×63×125 mm | 69×63×125 mm |
| 可选传感器头 | SWT-16 (KF16)、SWT-25 (KF25) | M-44 (KF16)、M-45 (KF25)、M-46 (ICF070) |
| 认证 | CE | CE |
半导体制造、真空镀膜、科研真空系统、Load-lock 腔体、高污染工艺环境等需要宽量程或高精度真空监测的场景。
ULVAC SH200/ST200 ULVAC复合电离真空计 半导体真空镀膜宽量程 复合电离真空计用于超高真空至高真空环境的压力精确测量，可搭配皮拉尼 / 压力传感器扩展至大气压，支持灯丝寿命预警与远程数据监控。适用于半导体制造、真空镀膜、科研腔体、Load-lock 工艺及高污染真空环境等场景。
ULVAC SH200/ST200 ULVAC复合电离真空计 半导体真空镀膜宽量程 复合电离真空计用于超高真空至高真空环境的压力精确测量，可搭配皮拉尼 / 压力传感器扩展至大气压，支持灯丝寿命预警与远程数据监控。适用于半导体制造、真空镀膜、科研腔体、Load-lock 工艺及高污染真空环境等场景。
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