咨询电话
13691609757
products
产品分类
产品型号：G-TRAN SC1 NW16 C-24
更新时间：2026-08-22简要描述：ULVAC冷阴极电离真空计 半导体压力测量用 G-TRAN SC1 NW16 C-24 冷阴极电离真空计传感器单元用于高真空环境下的压力测量与工艺控制，采用无灯丝冷阴极技术，寿命长、维护成本低，输出 0–10V 模拟信号及设定点信号，适配 DC24V 工业控制系统，广泛应用于半导体、光学镀膜、电子制造及工业真空炉等领域的精密真空制程设备。
| 品牌 | 其他品牌 | 价格区间 | 2万-5万 |
|---|---|---|---|
| 产地类别 | 国产 | 应用领域 | 能源,电子/电池,汽车及零部件,综合,半导体 |
ULVAC G-TRAN 系列 SC1 是一款磁控管型冷阴极电离真空计传感器单元。产品采用冷阴极技术，不使用灯丝，从根本上消除了灯丝烧断、老化及暴露大气受损的风险，大幅延长真空计更换周期，降低维护频率与综合拥有成本。
SC1 为无显示单元的纯传感器设计，体积紧凑，可节省控制面板安装空间，接线简化，适合集成到各类真空设备的控制系统中。产品提供 0–10V 非线性 Log 模拟输出及 2 路设定点控制输出，采用 DC24V 供电，便于与 PLC、工控机等标准工业控制系统对接。
| 参数项 | 规格内容 |
|---|---|
| 品牌 | ULVAC（爱发科） |
| 系列 / 型号 | G-TRAN Series / SC1 |
| 产品类型 | 冷阴极电离真空计传感器单元（磁控管型） |
| 兼容测量头 | C-21、C-23、C-24、C-25 |
| 测量范围 | 1.0×10⁻⁷ ~ 1.0 Pa7.5×10⁻¹⁰ ~ 7.5×10⁻³ Torr1.0×10⁻⁹ ~ 1.0×10⁻² mbar |
| 测量精度 | +100% / -50%（1.0×10⁻⁷ ~ 1.0×10⁻¹ Pa）+100% /-80%（Torr /mbar 对应量程） |
| 测量值输出 | 非线性输出 0 ~ 10 VDC |
| 设定点调整监视 | 非线性输出 0 ~ 10 VDC |
| 控制输入信号 | HW ON/OFF |
| 控制输出信号 | 开路集电极输出（负逻辑），放电确认 / 设定点 1 / 设定点 2 |
| LED 指示 | POWER、HV、PROTECT、SETPOINT 1/2 |
| 工作温度 | 10 ~ 40°C（50 ~ 104°F） |
| 工作湿度 | 15 ~ 80%（无凝露） |
| 供电电压 | DC24V ± 2V，150mA |
| 输入输出接口 | D-sub 15pin（M2.6 螺丝） |
| 重量 | 约 400g（不含测量头） |
| 标准附件 | 输入输出连接器 ×1、使用说明书 ×1 |
| 法兰接口选项 | Ø18.15 C-21 / UFC034 C-23 / NW16 C-24 / NW25 C-25 |
无灯丝长寿命：冷阴极设计彻的底的消除灯丝损坏隐患，即使暴露于大气压也不会受损，更换周期显著延长。
维护成本低：无灯丝更换作业，维护步骤大幅简化，降低设备停机时间与拥有成本。
紧凑型集成设计：取消独立显示单元，体积小巧，节省控制面板空间，接线数量减少。
标准工业接口：DC24V 供电 + 0–10V 模拟输出 + 开路集电极设定点输出，可直接接入 PLC / 工控系统。
多法兰兼容：支持 C-21 / C-23 / C-24 / C-25 四种测量头接口，适配不同真空腔体规格。
半导体制造：晶圆刻蚀、薄膜沉积、离子注入等精密真空设备的高真空范围压力监测与工艺控制。
光学与电子零件制造：光学镀膜、电子束蒸发等高精度真空工艺设备的过程控制。
工业真空设备：真空熔炼炉、烧结炉等工业炉体的低真空范围工艺控制。
多腔室连续制程设备：在线溅射（in-line sputtering）、单晶片处理（single wafer processing）等多处理腔室真空系统的压力监测与联锁控制。
ULVAC G-TRAN SC1 是一款面向高真空工业制程的冷阴极电离真空计传感器。其无灯丝设计带来的长寿命与低维护特性，使其特别适合需要 7×24 小时连续运行、对停机成本敏感的半导体、光学镀膜及工业炉窑产线。紧凑的传感器形态与标准工业控制接口，便于设备厂商进行系统化集成，是高真空段压力测量与工艺联锁控制的可靠选择。
ULVAC冷阴极电离真空计 半导体压力测量用 G-TRAN SC1 NW16 C-24 冷阴极电离真空计传感器单元用于高真空环境下的压力测量与工艺控制，采用无灯丝冷阴极技术，寿命长、维护成本低，输出 0–10V 模拟信号及设定点信号，适配 DC24V 工业控制系统，广泛应用于半导体、光学镀膜、电子制造及工业真空炉等领域的精密真空制程设备。
ULVAC冷阴极电离真空计 半导体压力测量用 G-TRAN SC1 NW16 C-24 冷阴极电离真空计传感器单元用于高真空环境下的压力测量与工艺控制，采用无灯丝冷阴极技术，寿命长、维护成本低，输出 0–10V 模拟信号及设定点信号，适配 DC24V 工业控制系统，广泛应用于半导体、光学镀膜、电子制造及工业真空炉等领域的精密真空制程设备。
您的位置：
在线咨询
返回顶部