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产品型号：ULVAC G-TRAN CCMT-1000D
更新时间：2026-08-22简要描述：ULVAC G-TRAN CCMT-1000D 陶瓷电容式真空计 电容薄膜规 半导体光伏用 ，依靠陶瓷隔膜检测真空压力，测量结果不受气体种类影响，具备温度补偿、抗污染特性，完成真空腔体压力监测。适配真空熔炼、真空热处理、薄膜沉积、PV、FPD 制造等行业，用于各类真空工艺设备压力检测，保障真空制程参数稳定可控。
| 品牌 | 其他品牌 | 价格区间 | 面议 |
|---|---|---|---|
| 产地类别 | 进口 | 应用领域 | 化工,能源,电子/电池,综合,半导体 |
CCMT‑1000D 是 ULVAC（爱发科）陶瓷电容式压力计，依靠氧化铝陶瓷隔离膜片受气压形变，检测静态电容变化实现真空压力测量，测量精度不受气体种类影响，属于中低真空高精度压力传感器。
陶瓷耐腐蚀传感器：陶瓷膜片，抗腐蚀，传感器自带防污染防护结构，耐受工艺粉尘、污染工况。
长期信号稳定：优异零点与量程长期稳定性，漂移小。
与气体种类无关：可对任意气体做全量程压力测量，无需气体修正。
快速预热：缩短开机预热时间；内置温度补偿电路，抵消温度带来测量误差。
便捷操作：按键式零点校准；输出 DC 0‑10V 标准线性信号。
宽供电适配：供电 DC14‑30V，1W 功耗，适配工业设备供电。
真空熔炼、真空热处理设备
薄膜沉积镀膜系统
减压炉
气体置换、气体密封工艺
PV 光伏、FPD 平板显示制造设备
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 满量程 | 133kPa (1×10³ Torr) |
| 分辨率 | 满量程 0.003% |
| 精度 | ±0.2% FS（含温度系数） |
| 响应时间 | ≤30ms |
| 工作温度 | 10‑50℃ |
| 输出信号 | DC 0‑10V |
| 供电 | DC14‑30V，1W |
| 重量 | 329g |
| 外形尺寸 | 55mm × 117mm |
| 接口 | D‑SUB15 针公头，DN40‑ISO‑KF 法兰 |
| 接触介质材质 | 氧化铝陶瓷、Vacon70、SUS316 等耐腐蚀合金 |
同系列还有 CCMT‑100D / CCMT‑10D / CCMT‑1D，覆盖从 133kPa~133Pa 不同真空量程可选。
ULVAC G-TRAN CCMT-1000D 陶瓷电容式真空计 电容薄膜规 半导体光伏用 ，依靠陶瓷隔膜检测真空压力，测量结果不受气体种类影响，具备温度补偿、抗污染特性，完成真空腔体压力监测。适配真空熔炼、真空热处理、薄膜沉积、PV、FPD 制造等行业，用于各类真空工艺设备压力检测，保障真空制程参数稳定可控。
ULVAC G-TRAN CCMT-1000D 陶瓷电容式真空计 电容薄膜规 半导体光伏用 ，依靠陶瓷隔膜检测真空压力，测量结果不受气体种类影响，具备温度补偿、抗污染特性，完成真空腔体压力监测。适配真空熔炼、真空热处理、薄膜沉积、PV、FPD 制造等行业，用于各类真空工艺设备压力检测，保障真空制程参数稳定可控。
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