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MEIRITZ显微镜/纳米表面分析 6自由度隔振台

  • 产品型号:ME-0405/0506/0806D/1007D
  • 更新时间:2026-07-09

简要描述:MEIRITZ显微镜/纳米表面分析 6自由度隔振台ME-0405/0506/0806D/1007D 该产品主要用于消除微小环境振动,为精密仪器提供高稳定度的操作环境。广泛适用于纳米科技、半导体制造、精密光学测量、电子显微镜及生物医疗等对振动极其敏感的顶端行业。

产品详情
品牌其他品牌价格区间面议
产地类别进口应用领域综合
日本明立精机(Meiritz Seiki)公司生产的 “卓上型アクティブ除振システム MEシリーズ",即 ME系列台式主动隔振系统这是一款专为精密仪器设计的高的端的防振设备,主要用于消除微小的环境振动,以保证精密测量或加工的准确性。

MEIRITZ显微镜/纳米表面分析 6自由度隔振台

1. 产品核心功能

这款产品最主要的作用是通过主动控制技术来消除振动。
  • 工作原理:它会实时监测台面的振动,并通过内置的执行器(Actuator)施加相反相位的力,从而抵消振动。

  • 控制维度:它能够在3个移动自由度和3个旋转自由度(共6自由度)上进行全面的振动控制。


2. 主要特点

  • 宽频带控制:主动控制范围覆盖 0.5Hz ~ 100Hz(100Hz以上则通过被动方式控制),能有效应对低频到高频的复杂振动源。

  • 全自动调节:具备自动主动调整和自动调平功能。系统采用明立精机原创的控制系统,能自动优化增益调整,无需繁琐的人工干预。

  • 稳定性强:即使搭载的是像小型SPM(扫描探针显微镜)这样的轻量级设备,也能保持优异的隔振性能,不会因为负载轻而降低效果。

  • 适用性广:主要适用于显微镜系统、精密计量仪器、纳米表面分析等对振动极其敏感的领域。


3. 主要型号与规格

该系列目前主要有两个型号:ME-0405ME-0506。它们的主要区别在于台面尺寸和设备重量。
项目ME-0405ME-0506
搭载面尺寸 (mm)430 × 530530 × 630
机体尺寸 (mm)432 × 532 × 93532 × 632 × 93
机体质量 (kg)3142
最大搭载质量 (kg)8080
通用规格:
  • 电源:100V-240V,AC单相,50/60Hz(全球通用电压)。

  • 显示:前面板配备LCD控制面板,用于显示状态。


4. 可选配件

为了满足更高的刚性和光学实验需求,该产品提供以下选项:
  • 钢制蜂窝光学平台:可将标准台面更换为高刚性的钢制蜂窝光学平台,台面带有M6螺纹孔阵列,方便固定光学元件。

  • 专用防音箱:用于隔绝外部噪音。

  • 专用支架:用于特定的安装环境。


5. 总结

ME系列是一款高性能的台式主动隔振台,特别适合实验室或精密制造环境中,用于保护电子显微镜、纳米测量设备等昂贵且敏感的仪器免受环境振动干扰。其自动调节功能和对轻负载设备的适应性是其优势所在。



MEIRITZ显微镜/纳米表面分析 6自由度隔振台ME-0405/0506/0806D/1007D 该产品主要用于消除微小环境振动,为精密仪器提供高稳定度的操作环境。广泛适用于纳米科技、半导体制造、精密光学测量、电子显微镜及生物医疗等对振动极其敏感的顶端行业。

MEIRITZ显微镜/纳米表面分析 6自由度隔振台ME-0405/0506/0806D/1007D 该产品主要用于消除微小环境振动,为精密仪器提供高稳定度的操作环境。广泛适用于纳米科技、半导体制造、精密光学测量、电子显微镜及生物医疗等对振动极其敏感的顶端行业。


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