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产品型号:TS-140(TP25)/TS-150(TP25)
更新时间:2026-07-08简要描述:Table Stable半导体用三维主动式隔振台系统TS-140(TP25)/TS-150(TP25),TS 系列桌面主动式微振动控制系统,依托反向振动抵消原理削弱 0.7~100Hz 频段震动,可自动找平、监测减振工况,能适配重心偏高、载荷不均的设备。多用于半导体检测、精密光学实验、显微观测、激光加工、精密计量场景,适配科研院所、半导体工厂、光学实验室、精密电子质检行业,
| 品牌 | 其他品牌 | 产地类别 | 进口 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 环保,化工,能源,电子/电池,综合 |
台式主动式微振动控制系统
适用于0.7~100Hz三维空间的隔振,是一种主动式隔振台,能对产生的振动瞬时施加反相位振动以抵消振动。与空气弹簧式隔振台相比,在固有频率为1~2Hz的低频区域也能发挥出色的隔振性能。

安装设备后,初始水平调整将自动完成。因此,即使设备存在偏载荷,也能在保持水平的状态下使用。
与重心高时易发生振荡( hunting )的空气弹簧式不同,本产品使用线圈弹簧,因此也可搭载重心较高的设备。
通过连接主机背面BNC连接器至您持有的示波器,可以确认垂直及水平方向的隔振状态。
可通过前面板菜单显示屏确认垂直及水平方向的隔振状态。
外形图
可通过外部连续开关(选配)进行主动隔振的ON/OFF切换。
若安装地点刚性不足且振幅较大,可能导致隔振性能下降或无法隔振。为防止此类情况,我们准备了高刚性专用架台。
高阻尼高刚性专用架台(h-L-TS)

注意
本产品为瑞士 The Table Stable Ltd. 制造,仅限在亚洲地区(印度及澳大利亚除外)使用的情况下销售。
因产品为重物,搬运费需另行报价。
| 规格 | ||
|---|---|---|
| 型号 | TS-140 (TP25) / TS-150 (TP25) | TS-300 (TP25) / TS-300LT (TP25) |
| 系统构成 | 控制器与隔振单元一体型 | |
| 主动控制范围 | 约0.7Hz~100Hz | |
| 使用环境调整 | 增益及偏移自动调整 | |
| 初始水平调整 | 自动调整 | |
| 移动时锁定 | 自动锁定机构 | |
| 隔振状态确认 | 显示于主机正面监控器(8轴振动检测状态可通过主机背面BNC连接器连接外部设备) | |
| 供电电源电压 | 100~230V AC±10% 50~60Hz | |
| 功耗 | 通常10W、最大20W(70VA) | |
| 使用温度范围 | 5℃~40℃ | |
| 使用湿度范围 | 10~90%(5~30℃)・10~60%(30~40℃) | |
| 使用场所 | 室内 | |
| 使用海拔 | 最高2000m | |
| 使用搭载盘 | 型号不带后缀:铝板,做白色阳极氧化处理(不可做喷漆加工)型号后缀 TP25:带磁性不锈钢板材、哑光黑漆处理;内嵌 M6 规格螺丝孔(螺纹深度 6mm),螺丝规格 M6 25×25mm(有效螺纹深度 6mm) | |
| 型号 | A × B [mm] | H [mm] | 可搭载重量 [N] | 质量 [kg] |
|---|---|---|---|---|
| TS-140 | 500×600 | 84 | 980(约100kgf)均等 | 29 |
| TS-140/TP25 | 500×600 | 86 | 980(约100kgf)均等 | 35 |
| TS-150 | 400×450 | 78 | 980(约100kgf)均等 | 18 |
| TS-150/TP25 | 400×450 | 82 | 980(约100kgf)均等 | 23 |
| TS-300LT | 600×800 | 121 | 882(约90kgf)均等 | 55 |
| TS-300LT/TP25 | 600×800 | 124 | 882(约90kgf)均等 | 65 |
| TS-300 | 600×800 | 121 | 2,255(约230kgf)均等 | 60 |
| TS-300/TP25 | 600×800 | 124 | 2,255(约230kgf)均等 | 70 |
高阻尼高刚性专用架台 h-L-TS

备有台式主动式微振动控制系统(TS)专用架台。
Table Stable半导体用三维主动式隔振台系统TS-140(TP25)/TS-150(TP25),TS 系列桌面主动式微振动控制系统,依托反向振动抵消原理削弱 0.7~100Hz 频段震动,可自动找平、监测减振工况,能适配重心偏高、载荷不均的设备。多用于半导体检测、精密光学实验、显微观测、激光加工、精密计量场景,适配科研院所、半导体工厂、光学实验室、精密电子质检行业,
Table Stable半导体用三维主动式隔振台系统TS-140(TP25)/TS-150(TP25),TS 系列桌面主动式微振动控制系统,依托反向振动抵消原理削弱 0.7~100Hz 频段震动,可自动找平、监测减振工况,能适配重心偏高、载荷不均的设备。多用于半导体检测、精密光学实验、显微观测、激光加工、精密计量场景,适配科研院所、半导体工厂、光学实验室、精密电子质检行业,