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Table Stable半导体用三维主动式隔振台系统

  • 产品型号:TS-140(TP25)/TS-150(TP25)
  • 更新时间:2026-07-08

简要描述:Table Stable半导体用三维主动式隔振台系统TS-140(TP25)/TS-150(TP25),TS 系列桌面主动式微振动控制系统,依托反向振动抵消原理削弱 0.7~100Hz 频段震动,可自动找平、监测减振工况,能适配重心偏高、载荷不均的设备。多用于半导体检测、精密光学实验、显微观测、激光加工、精密计量场景,适配科研院所、半导体工厂、光学实验室、精密电子质检行业,

产品详情
品牌其他品牌产地类别进口
应用领域环保,化工,能源,电子/电池,综合

台式主动式微振动控制系统

适用于0.7~100Hz三维空间的隔振,是一种主动式隔振台,能对产生的振动瞬时施加反相位振动以抵消振动。与空气弹簧式隔振台相比,在固有频率为1~2Hz的低频区域也能发挥出色的隔振性能。

Table Stable半导体用三维主动式隔振台系统


  • 安装设备后,初始水平调整将自动完成。因此,即使设备存在偏载荷,也能在保持水平的状态下使用。

  • 与重心高时易发生振荡( hunting )的空气弹簧式不同,本产品使用线圈弹簧,因此也可搭载重心较高的设备。

  • 通过连接主机背面BNC连接器至您持有的示波器,可以确认垂直及水平方向的隔振状态。

  • 可通过前面板菜单显示屏确认垂直及水平方向的隔振状态。


外形图

  • 可通过外部连续开关(选配)进行主动隔振的ON/OFF切换。

  • 若安装地点刚性不足且振幅较大,可能导致隔振性能下降或无法隔振。为防止此类情况,我们准备了高刚性专用架台。

  • 高阻尼高刚性专用架台(h-L-TS)

Table Stable半导体用三维主动式隔振台系统

注意

  • 本产品为瑞士 The Table Stable Ltd. 制造,仅限在亚洲地区(印度及澳大利亚除外)使用的情况下销售。

  • 因产品为重物,搬运费需另行报价。


规格

型号TS-140 (TP25) / TS-150 (TP25)TS-300 (TP25) / TS-300LT (TP25)
系统构成控制器与隔振单元一体型
主动控制范围约0.7Hz~100Hz
使用环境调整增益及偏移自动调整
初始水平调整自动调整
移动时锁定自动锁定机构
隔振状态确认显示于主机正面监控器(8轴振动检测状态可通过主机背面BNC连接器连接外部设备)
供电电源电压100~230V AC±10% 50~60Hz
功耗通常10W、最大20W(70VA)
使用温度范围5℃~40℃
使用湿度范围10~90%(5~30℃)・10~60%(30~40℃)
使用场所室内
使用海拔最高2000m
使用搭载盘型号不带后缀:铝板,做白色阳极氧化处理(不可做喷漆加工)型号后缀 TP25:带磁性不锈钢板材、哑光黑漆处理;内嵌 M6 规格螺丝孔(螺纹深度 6mm),螺丝规格 M6 25×25mm(有效螺纹深度 6mm)


型号A × B [mm]H [mm]可搭载重量 [N]质量 [kg]
TS-140500×60084980(约100kgf)均等29
TS-140/TP25500×60086980(约100kgf)均等35
TS-150400×45078980(约100kgf)均等18
TS-150/TP25400×45082980(约100kgf)均等23
TS-300LT600×800121882(约90kgf)均等55
TS-300LT/TP25600×800124882(约90kgf)均等65
TS-300600×8001212,255(约230kgf)均等60
TS-300/TP25600×8001242,255(约230kgf)均等70

高阻尼高刚性专用架台 h-L-TS

Table Stable半导体用三维主动式隔振台系统

  • 备有台式主动式微振动控制系统(TS)专用架台。





Table Stable半导体用三维主动式隔振台系统TS-140(TP25)/TS-150(TP25),TS 系列桌面主动式微振动控制系统,依托反向振动抵消原理削弱 0.7~100Hz 频段震动,可自动找平、监测减振工况,能适配重心偏高、载荷不均的设备。多用于半导体检测、精密光学实验、显微观测、激光加工、精密计量场景,适配科研院所、半导体工厂、光学实验室、精密电子质检行业,

Table Stable半导体用三维主动式隔振台系统TS-140(TP25)/TS-150(TP25),TS 系列桌面主动式微振动控制系统,依托反向振动抵消原理削弱 0.7~100Hz 频段震动,可自动找平、监测减振工况,能适配重心偏高、载荷不均的设备。多用于半导体检测、精密光学实验、显微观测、激光加工、精密计量场景,适配科研院所、半导体工厂、光学实验室、精密电子质检行业,

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