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产品分类技术文章/ article
传统U型水银真空计在实验室低压、真空工况检测中长期被广泛使用,但水银属于高危有毒物质,玻璃壳体存在破碎泄漏风险,会带来环境污染、人员安全隐患,设备维护成本也居高...
在半导体晶圆制造、刻蚀、薄膜沉积等高精度真空制程中,高真空段压力测量的稳定性直接决定工艺良率与产品一致性。然而不少产线长期受困于真空计读数漂移、突发失灵、频繁更换维护等问题,轻则导致工艺参数偏移,重则引发整批晶圆报废。压力测量不稳定的根源究...
在真空镀膜、半导体刻蚀、化学气相沉积等工艺中,真空腔体内往往充斥着大量反应副产物、粉尘和有机污染物。传统Bayard-Alpert(B-A型)电离真空计因栅极结构开放、灯丝暴露面积大,极易被污染物附着导致发射电流漂移、灵敏度下降,甚至灯丝烧...
传统真空检测作业,往往需要搭配专用真空表头、配套供电电源,整套设备体积大,携带繁琐。外出设备巡检、现场真空泵维护时,仪器搬运、接线调试会耗费大量时间。那么真空检测可以直接用手机操作吗?ULVAC爱发科SWU10‑U智能手机直连皮拉尼真空计,...
在医药、电子制造的真空工艺环节,真空度的精准稳定直接决定产品良率。PHIL佐藤真空VGS‑240分体式绝对压力真空计,由VGS‑240显示表头搭配SO‑240真空传感器组成,分体式结构适配复杂设备布局,兼具高精度测量、多信号输出、阈值报警功...
半导体工艺腔体、部分制桶自动化表面处理工序中,会接触腐蚀性工艺气体,普通真空计容易出现灯丝损耗、馈通失效、测量漂移等故障。很多设备工程师会产生疑问:英福康PSG50x‑S/PSG51x‑S皮拉尼真空计,是否可以应对腐蚀工况,完成半导体、制桶...
INFICON英福康PSG50x‑S、PSG51x‑S属于皮拉尼标准真空计,依托数字化皮拉尼热传导测量技术,专为粗真空、中真空区间压力监测打造。整机采用不锈钢传感单元、紧凑型铝合金壳体,安装姿态不影响测量性能,适配半导体设备、电力行业、制桶...
半导体真空工艺对腔体内压力稳定性要求严苛,压力波动会直接影响产品良率。MIYUKIMG‑mini485自动压力控制器专为真空压力闭环调控开发,依靠PID控制算法,可达成设定压力±0.5%的控制精度,解决真空腔体压力波动难题,适...
在纳米粉体、功能浆料、生物医药胶体的研发生产环节,普通粒度检测设备往往难以区分样品中微量团聚体、少量粗大杂质颗粒,容易造成测试结果偏差,影响产品品质判定。想要获取真实、高分辨率的粒径分布数据,离心沉降式粒度检测是十分可靠的技术路径。堀场HO...
在半导体制造流程中,化学机械抛光(CMP)是实现晶圆全局平坦化的核心工序。抛光浆料的颗粒状态,直接决定晶圆成品品质。浆料内部异常大颗粒、颗粒尺寸波动、颗粒浓度不稳定,极易在晶圆表面产生划伤、凹坑等各类工艺缺陷,直接造成产品报废,带来物料损耗...
在PCB基板显微成像检测工作中,强光输出、亮度稳定性直接决定缺陷识别效果。普通光源容易出现亮度衰减、光照波动、发热严重等问题,影响图像一致性,造成误检漏检。CCSPFBR‑150光纤耦合LED光源主机,作为替代传统金卤灯的工业视觉照明设备,...