日本Tekhne公司生产的露点仪是专门用于半导体超纯气体湿度监测的高精度仪器。在半导体制造过程中，气体的纯度和湿度控制至关重要，因为微小的湿度变化可能会对半导体器件的性能和质量产生严重影响。以下是关于日本Tekhne露点仪的详细介绍：
一、产品概述
二、主要特点
高精度测量
测量范围：能够测量极低的露点温度，通常在-100°C至0°C之间，适用于超纯气体的湿度监测。
测量精度：露点温度测量精度可达±0.1°C，确保测量结果的高可靠性。
重复性：测量结果具有高重复性，确保长期稳定的监测效果。
快速响应
高稳定性
数据管理
数据记录：设备内置数据记录功能，可存储大量的测量数据。
数据输出：支持USB、LAN等多种数据输出方式，方便用户将数据导入计算机进行分析。
数据分析：配备专业的数据分析软件，可对测量数据进行统计分析，生成报表。
用户友好
三、技术参数
四、应用领域
半导体制造
电子制造
科研机构
五、操作流程
开机准备
气体连接
将待监测的超纯气体管道连接到露点仪的进气口。
确保气体流量稳定，符合设备要求。
自动测量
数据输出
设备维护
六、优势与价值
高精度：能够测量极低的露点温度，确保超纯气体的湿度控制。
快速响应：快速测量和实时监测，便于及时调整气体干燥系统。
高稳定性：先进的传感器技术和温度补偿功能，确保设备在恶劣环境下的稳定性和可靠性。
数据管理：支持数据记录、存储和输出，方便用户进行数据分析和质量控制。
用户友好：操作简便，内置校准功能，确保测量精度。
七、售后服务
技术支持：提供专业的技术支持，包括设备安装、调试、培训和维护。
保修服务：设备提供一年有限保修服务，保修期内免费维修和更换零部件。
备件供应：提供充足的备件供应，确保设备的长期稳定运行。
更新时间：2025-08-15 
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