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更新时间：2025-10-16 
浏览次数：20SANKO自动附着试验机的核心定位是：为各类材料提供客观、精确、可重复的附着力定量测量解决方案。 它通过标准化的测试方法，取代了传统主观性强的划格法、胶带法等定性测试，广泛应用于以下行业：
半导体与微电子： 晶圆上的薄膜、光刻胶、钝化层等。
汽车工业： 车身涂料、电泳层、零部件镀层。
航空航天： 热障涂层、功能性涂层。
一般工业： 油漆、涂料、油墨、电镀、PVD/CVD涂层等。
其核心价值在于：
量化结果： 提供精确的附着力强度数值（如MPa或N/mm²），便于不同批次、不同工艺间的精确对比。
客观公正： 完的全排除人为主观判断因素，测试结果可靠、可审计。
高重复性与再现性： 自动化过程确保了测试条件的高度一致。
SANKO自动附着试验机通常采用 “拉伸拉开法" ，这是目前国的际的公的认的最的可的靠的附着力测试方法之一（如ASTM D4541, ISO 4624）。
1. 工作原理简述：
准备： 使用专用的快干、高强度胶粘剂，将一个特定尺寸的测试锭（或称拉拔头）粘附在待测涂层表面。
对接： 仪器的工作台自动上升，使测试锭与仪器的拉力轴精准对中并夹紧。
施力： 仪器以一个恒定且可控的速率，施加垂直于涂层表面的拉力。
测量与记录： 高精度的传感器持续监测拉力值，直到涂层被拉脱或拉断。仪器记录下失效瞬间的最大拉力值。
分析： 通过测量到的最大拉力和测试锭的横截面积，自动计算出附着力强度。同时，通过观察测试锭和样品表面的失效模式，可以进一步分析失效原因。
2. 主要技术特点与优势：
高精度驱动与传感系统： 采用伺服电机或类似高精度驱动系统，确保施力过程平稳、速度精确。配备高分辨率负载传感器，力值测量精准。
全自动化操作： 从对位、夹紧、施力到数据记录全过程自动化，大大提高了测试效率，并降低了操作误差。
多种测试锭规格： 提供多种直径（如20mm, 10mm, 5mm, 2mm等）的测试锭，以适应不同附着强度、不同测试区域的样品。小尺寸锭尤其适合半导体等微区测试。
智能数据分析软件：
自动计算： 自动计算附着力强度。
失效模式识别： 软件通常会辅助操作员记录失效类型（如：A-内聚破坏 within coating, B-附着破坏 at interface, C-胶粘剂破坏等），这对于故障分析至关重要。
数据管理： 存储测试数据、曲线，并生成详细的测试报告。
用户安全与便利性设计： 通常配备安全防护罩、紧急停止按钮，并具有自诊断功能，确保操作安全。人机交互界面简洁直观。
在半导体制造中，薄膜的附着力是决定器件可靠性和良率的关键参数。SANKO自动附着试验机在此领域扮演着重要角色：
测试对象：
CVD/PVD薄膜： 如TiN, TiW, Al, Cu等金属布线层和阻挡层的附着力。
介电材料： 如SiO₂, Si₃N₄等绝缘层的附着力。
光刻胶： 与底层之间的结合力，影响光刻图形精度。
应用场景：
新工艺开发： 在引入新的沉积技术、前处理工艺或新材料时，定量评估其对附着力的影响。
质量控制： 作为在线或离线检测项目，监控生产线薄膜附着力的稳定性，防止批量性剥离失效。
可靠性评估： 在进行温度循环、湿度测试等环境试验后，检查薄膜附着力的退化情况。
| 测试方法 | 原理 | 结果 | 优点 | 缺点 |
|---|---|---|---|---|
| SANKO自动拉开法 | 垂直拉伸 | 定量（力值/强度） | 客观、精确、可量化、数据可追溯 | 设备成本高，需使用胶粘剂，准备时间稍长 |
| 划格法/胶带法 | 划格后胶带拉扯 | 定性（等级0-5） | 快速、简便、成本低 | 主观性强，无法精确量化，对高硬度高附着力涂层不敏感 |
日本SANKO自动附着试验机代表了附着力测试领域的高精度与自动化水平。它通过标准化的拉伸测试，将原本模糊的“附着力好坏"转化为精确的工程数据，为研发、质量控制和失效分析提供了强有力的科学依据。
无论是在半导体、汽车、航空航天等高的端制造领域，还是在一般的表面处理行业，它都是确保产品涂层可靠性、提升工艺水平和实现数据化质量管理不的可的或的缺的关键设备。
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