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更新时间：2026-01-13 
浏览次数：18在半导体制造工艺日益微缩、功率器件需求爆发的当下，对晶圆电阻率及薄层电阻的测量精度提出了前的所的未的有的挑战。针对这一核心痛点，国際電気（Kokusai Electric）推出了其300mm全自动四探针测量系统的旗舰机型——VR300DH1。作为前代明星产品“VR300DSE"的后继机种，VR300DH1不仅继承了品牌的优良血统，更通过搭载独的家的“探针驱动控制系统"，重新定义了高精度电阻率测量的标准。
VR300DH1之所以被誉为“旗舰机型"，根本在于其对探针驱动控制技术的极的致运用。在先的进工艺节点和功率器件制造中，往往涉及极薄膜层或极浅的离子注入层，传统的测量方式极易因接触压力不当而导致测量误差或损伤晶圆。
该设备利用其核心的探针驱动控制机构，能够实现对硅晶圆、磁性薄膜等导电样品的精准测量。用户可以通过配方（Recipe）设置，针对不同的工艺需求（如极浅注入层）设定最的佳的探针驱动参数。这种精细化的控制能力，确保了在不损伤昂贵晶圆的前提下，获得高信噪比、高重复性的测量数据。
作为一款面向300mm晶圆厂的全自动设备，VR300DH1在提升生产效率（High Throughput）方面同样表现出色，致力于降低用户的整体运行成本（CoO）。
标准化接口：设备标配1个负载端口（Load Port），支持FOUP（前开式晶圆传送盒），完的全符合SEMI E95标准的操作界面，极大地提升了设备的操作便捷性和与产线的兼容性。
自动化扩展：支持选配300mm生产线用自动化系统，满足不同规模晶圆厂的自动化搬运需求。
VR300DH1的应用场景不仅局限于常规的硅或多晶硅测量，更深度覆盖了当前热门的功率器件制造领域。
功率器件背面工艺：针对功率器件制造中常见的晶圆减薄工艺，VR300DH1提供了专门的选配功能，能够精准评估晶圆减薄后的薄层电阻，解决背面工艺中的测量难题。
多元化材料适配：无论是离子注入、扩散工艺，还是金属膜相关工艺，该设备均能提供可靠的测量数据。此外，其选配的低电阻样品测量范围，进一步拓宽了其在导电性较强材料上的应用边界。
为了保证长期运行的稳定性，VR300DH1在智能化维护方面也做了周全考虑：
自动修整：标配或选配的探针尖的端自动修整（Auto Conditioning）功能，有效延长了探针寿命，减少了人工维护频率。
可视化分析：设备支持绘制电阻率分布的等高线图和3D图，让工艺工程师能够直观地观察晶圆表面的电阻率分布均匀性，快速进行工艺诊断。
国際電気 VR300DH1并非简单的测量工具，而是集成了核心探针控制算法与全自动传输技术的工艺关键节点设备。它通过将**“高精度测量"与“高吞吐量生产"**完的美的结合，为半导体制造商在追求更小尺寸、更高性能芯片的道路上，提供了坚实的数据支撑。
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