SJK 佐藤树脂 M-40 超级气泡消除器：半导体湿制程流体除泡稳流解决方案

更新时间：2026-10-16

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在半导体晶圆湿法清洗工艺中，药液管路内微小气泡、隔膜泵带来的压力脉动，一直是影响清洗均匀性、损伤精密滤芯、降低产品良率的常见难题。SJK 佐藤树脂 M-40 超级气泡消除器（Super Bubble Cutter）作为无源在线流体处理装置，专为精密化学供液系统设计，可同步实现流体气泡去除与泵脉动缓冲，稳定药液供给。

M-40 型号流量适用范围 2~5L/min，本体标配 PTFE 材质，也可按需选用 PVC、PP、PFA 材质，耐各类腐蚀性化学药液，适配氢的氟的酸的等半导体清洗溶剂。产品无需外接动力、无运动部件，属于免维护设备，直接串联加装在现有药液配管，无需对产线大规模改造，快速落地改造。

设备内部采用佐藤树脂专的利的保密结构，流体流经装置时，管路内微细气泡被持续脱除，同时缓冲泵产生的压力波动，维持药液流量与压力稳定。能够保护后端精密滤膜，持续维持药液纯度，减少因气泡、流量波动引发的晶圆清洗不良，还可以降低废液排放量，节约药液使用成本，提升产线作业安全性。

除半导体湿制程以外，M-40 超级气泡消除器同样适用于化工、医药品、食品、油压润滑系统以及各类科研试验装置，可用于混合药液输送场景，适配循环供液、新液供给等多种管路布局方案。

佐藤树脂工业株式会社具备半导体配套设备、树脂加工、配管工程一站式服务能力，除 M-40 外，SS/S/M/L/R 全系列超级气泡消除器可覆盖从 40ml/min 至 200L/min 的宽广流量区间，可根据客户流体粘度、工况温度、药液种类选型定制，为精密流体输送场景提供一体化除泡稳流方案。

深圳九州工业品有限公司成立于2016年，坐落于年轻奋进的深圳市，是一家工业品综合服务商。主要包括机电设备、电子产品、仪器仪表、工业器材的销售及其它国内贸易、经营进出口等业务。联合国际名品牌搭建工业品供应链，采用与 MRO分销商结盟的方式，把零散采购订单集中处理，流程简化，提供一站式供应服务。在美国、德国、日本、韩国、中国台湾建立采购中心，一的流的专业各区域采购团队、技术顾问、销售团队为各种领域提供各类高品质的工业产品和优质的整合服务。通过与厂家建立快捷、有效的沟通，和众多国外生产厂家建立了长久合作伙伴关系。