ULVAC是一家日本知的名的真空设备和表面工程解决方案供应商，其产品广泛应用于半导体、电子、科研和工业生产等领域。隔膜型干泵（Diaphragm Dry Pump）是ULVAC众多产品中的一种，主要用于产生和维持真空环境。以下是对ULVAC隔膜型干泵的详细介绍：
1. 产品概述
隔膜型干泵是一种利用弹性隔膜的往复运动来实现气体抽吸和压缩的真空泵。它通过隔膜的变形来改变泵腔的体积，从而实现气体的吸入和排出。这种泵通常用于需要低真空度（一般在10⁻³ Torr左右）的应用场景。
2. 主要特点
无油设计：隔膜泵不需要使用润滑油，因此不会污染真空腔内的环境，特别适合高清洁度要求的应用。
低振动和低噪音：运行平稳，噪音和振动水平较低，适合在实验室和精密设备环境中使用。
耐腐蚀性强：隔膜和泵腔通常采用耐腐蚀材料制成，能够处理含有腐蚀性气体的环境。
高可靠性：结构简单，维护成本低，使用寿命长。
紧凑设计：体积小，重量轻，便于安装和集成到各种系统中。
3. 技术参数
极限真空度：通常可以达到10⁻³ Torr（具体取决于型号）。
抽气速率：从几升/分钟到几十升/分钟不等，具体取决于泵的大小和型号。
工作压力范围：从大气压到极限真空度。
适用气体：可以处理多种气体，包括干燥空气、惰性气体和部分腐蚀性气体（需根据具体材料选择）。
4. 应用场景
半导体制造：用于光刻、蚀刻和薄膜沉积等工艺中的真空环境。
科研实验：在物理、化学和材料科学实验中提供稳定的真空环境。
电子工业：用于电子元件的制造和测试。
医疗设备：在需要高清洁度的医疗设备中使用，如质谱仪和真空干燥设备。
食品工业：用于真空包装和干燥工艺。
5. 型号举例
ULVAC提供多种型号的隔膜型干泵，以满足不同用户的需求。以下是一些常见的型号及其主要参数：
| 型号 | 极限真空度 (Torr) | 抽气速率 (L/min) | 适用气体 |
|---|
| DP-100 | 10⁻³ | 10 | 干燥空气、惰性气体 |
| DP-200 | 10⁻³ | 20 | 干燥空气、惰性气体 |
| DP-300 | 10⁻³ | 30 | 干燥空气、惰性气体 |
6. 维护与保养
定期检查隔膜：隔膜是隔膜泵的关键部件，需定期检查其磨损情况，及时更换。
清洁泵腔：定期清理泵腔内的灰尘和杂质，以保持泵的性能。
检查密封性：确保泵的密封性能良好，避免漏气。
避免过载运行：不要长时间在极限真空度下运行泵，以免损坏隔膜。
7. 优势与选择理由
更新时间：2025-08-12 
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