基于丁达尔现象的 UIH-3D 检测灯：半导体晶圆与掩膜玻璃专用

更新时间：2026-02-28

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1. 设备概述

UIH-3D 型超高亮度照明装置（UIH Series）是株式会社 INTECS 生产的专业光学检测设备。该装置利用丁达尔现象（Tyndall Phenomenon），通过投射极的高亮度的光线，使微小的异物、气泡或伤痕产生光散射，从而辅助用户对半导体晶圆（Wafer）及光掩模玻璃（Mask Glass）等精密光学材料进行目视检查。

2. 核心技术参数

UIH-3D 型号作为该系列的高功率版本，其具体技术规格如下：

项目	规格参数
光源规格	100V 650W
设计照射范围	镜筒前端 270mm 处，直径 φ100mm
最的高照度	照射范围中心约 300,000 勒克斯 (Lux)
500,000 勒克斯时的照射范围	约 φ80mm
倍径距离与照度	560mm 距离下，照度约 75,000 勒克斯
调光方式	SCR 控制（支持 50/60Hz 自动切换）
冷却与保护	风扇强制空冷，具备发热监控与冷却保持功能
电源要求	AC100V 半变压器式 (Semi-transformer type)
外形尺寸/重量	约 13kg

3. 运行特性与安全机制

亮度调节：具备 10:1 以上的可变宽度，最的高亮度偏差控制在上限 10%、下限 20%。
灯泡寿命：

最的高亮度下寿命：75 小时以上。
半亮度下寿命：1800 小时以上。

安全保护功能：

发热监控：当灯泡室内部温度超过约 130℃ 时，系统会强制熄灯。
冷却保持：主电源关闭后，风扇会持续运行，直到灯泡室温度降至约 40℃ 以下，以保护设备。

4. 总结

UIH-3D 作为 UIH 系列的高功率型号，通过 650W 的光源输出，能够提供更大的照射面积（设计照射径 φ100mm）和更长的半亮度寿命（1800小时）。其配备的自动频率切换和完善的过热保护机制，使其适合在对洁净度和安全性有较高要求的半导体 Wafer 及 Mask Glass 生产环境中，进行大范围的表面与内部缺陷目视检测。