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日本Orion半导体湿法水冷型药液用温度调节机ETN23A-N介绍

更新时间：2026-05-11      浏览次数：15
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日本オリオン機械株式会社（Orion Machinery Co., Ltd.）生产的“药液用温度调节机 Chemical Peltatherm（水冷型）"该设备主要用于半导体湿法工艺中对药液进行高精度温度控制。

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以下是该产品的详细总结：

产品概述

  • 产品名称：药液用温度调节机 Chemical Peltatherm（水冷型）

  • 产品系列：ETD（电源单元）与 ETN（冷热单元）系列

  • 核心功能：直接对湿法工艺中的药液进行高精度温度调节。

  • 主要特点：

    • 接液部采用全特氟龙（Teflon/PTFE/PFA）热交换器，耐腐蚀性强。

    • 业界最轻量、紧凑设计。

    • 采用专用开关电源。

核心规格参数

该设备由“电源单元"和“冷热单元"组成一套系统，具体参数如下表所示：

1. 冷热单元 (ETN Series) 性能参数

项目规格详情
对应药液DIW, DHF, BHF, FPM, SC1 (根据浓度及未列明药液需咨询)
温度控制范围15～50℃ (50℃以上需咨询)
控制精度±0.1℃ (视条件而定)
冷却/加热能力ETN23A-N: ~280W / ~600W
ETN45A-N: ~460W / ~1,000W
ETN90A-N: ~920W / ~2,000W
散热方式水冷式
药液侧耐压0.3 MPa
药液侧材质PTFA, New PFA

2. 电源单元 (ETD Series) 规格

  • 电源要求：单相 200～240V (50/60Hz)

  • 控制方式：PID控制 + 自动调谐 (Auto-tuning)

  • 型号对应：

    • ETD232-SA-A-G2 (对应 ETN23A-N)

    • ETD452-SA-G2 (对应 ETN45A-N)

    • ETD832-SA-G2 (对应 ETN90A-N)

外形尺寸与重量

单元类型型号重量 (约)外形尺寸 (高×奥行×宽 mm)
冷热单元ETN23A-N10 kg220 × 330 × 147

ETN45A-N14 kg220 × 330 × 147

ETN90A-N28.5 kg260 × 530 × 145
电源单元ETD2325.0 kg165 × 430 × 140

ETD45210 kg215 × 460 × 165

ETD83218 kg305 × 470 × 240

其他特性

  • 温度传感器：标配 Pt100 (JIS 0.2级) ，可选特氟龙模制传感器。

  • 环境要求：使用周围温度范围为 15～35℃。

  • 特殊选项：

    • 可内置控制用温度传感器（特制对应）。

    • 提供连接电缆的延长线选项。



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