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更新时间:2026-07-11
浏览次数:20工作原理:传统的机械夹具容易损伤晶圆,而真空吸盘在真空中无法使用。ESC技术通过在陶瓷板内嵌入电极,并施加高电压产生静电,从而将晶圆牢牢吸附在吸盘表面。
电源的作用:ESC高压电源就是为静电吸盘提供所需高电压的关键设备。

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