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什么是ESC高压电源?

更新时间:2026-07-11      浏览次数:20
ESC是“静电吸盘"(Electric Static Chuck)的缩写。在半导体和液晶面板的制造过程中,需要将硅晶圆或玻璃基板在真空环境中牢固地吸附和固定。
  • 工作原理:传统的机械夹具容易损伤晶圆,而真空吸盘在真空中无法使用。ESC技术通过在陶瓷板内嵌入电极,并施加高电压产生静电,从而将晶圆牢牢吸附在吸盘表面。

  • 电源的作用:ESC高压电源就是为静电吸盘提供所需高电压的关键设备。

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