P.R.A. PHV系列高压电源：兼容Johnson-Rahbek与Coulomb型ESC的通用选择

更新时间：2026-07-23

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在半导体制造、平板显示等精密加工领域，静电吸盘（ESC）是实现晶圆或基板稳定固定的核心部件。而为其提供稳定、安全高压的电源，则是确保整个工艺过程顺利进行的关键。P.R.A.公司推出的PHV系列静电吸盘电源，凭借其广泛的兼容性和卓的越的保护功能，成为应对这一挑战的理想选择。

广泛的ESC类型兼容性

PHV系列电源最大的亮点之一是其出色的通用性。它被专门设计用于驱动两种主流的静电吸盘技术：

Johnson-Rahbek (J-R) 型 ESC
Coulomb 型 ESC

这意味着，无论您的设备采用哪种类型的静电吸盘，PHV系列都能提供稳定可靠的电压支持，简化了设备选型和维护的复杂度。

核心优势：工艺保护与效率提升

除了广泛的兼容性，PHV系列还集成了多项专为精密工艺设计的功能，旨在保护您的产品并提升生产效率。

低储能与电流限制：电源具备低储能和内置电流限制功能，能有效防止因电压浪涌或电弧放电对晶圆等精密工件造成损伤，为您的核心工艺保驾护航。
极性反转与自动放电：内置的极性反转功能可以有效中和吸盘上的残余电荷，配合高压关闭后的自动放电功能，显著改善了晶圆的“去吸盘"（De-chucking）过程，提高了生产节拍和良率。
抗射频干扰：设备内置了RF Block Filter（射频阻断滤波器），能够有效过滤2MHz至13.56MHz频段的射频干扰。这确保了电源在等离子体等复杂电磁环境下依然能够稳定工作，不受干扰。

丰富的型号选择与灵活控制

PHV系列提供多种型号，以满足不同电压和电流的应用需求。

输出类型：提供单极性（Uni-polar）、双极性（By-polar）和双极性中心抽头（By-polar Center Tap）三种输出类型。
电压范围：覆盖从±1KV到±8KV的广泛电压范围，功率为10W。
控制方式：支持本地控制（前面板开关和电位器）和远程控制（外部接口），并提供线性的电压和电流监控信号，方便集成到自动化系统中。

总而言之，P.R.A. PHV系列高压电源不仅是一款兼容性强的通用解决方案，更是一款集工艺保护、效率提升和稳定运行于一体的高性能产品，是精密制造领域中静电吸盘应用的可靠伙伴。

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