英福康 PSG50x‑S/PSG51x‑S 真空计：半导体电力制桶 粗‑中真空精准测量

INFICON 英福康 PSG50x‑S、PSG51x‑S 属于皮拉尼标准真空计，依托数字化皮拉尼热传导测量技术，专为粗真空、中真空区间压力监测打造。整机采用不锈钢传感单元、紧凑型铝合金壳体，安装姿态不影响测量性能，适配半导体设备、电力行业、制桶自动化产线、真空管路等多类工业真空工况，实现稳定可靠的真空压力采集、联锁控制，同时满足 RoHS 环保合规要求，是工业真空系统的核心测量元器件。

核心技术参数

1. 测量原理：皮拉尼热传导法，适配空气、氧气、CO、氮气等多种气体

2. 测量量程：5×10⁻⁴ ~1000 mbar，覆盖粗真空至中真空区间

3. 精度表现：1×10⁻³~100 mbar 区间 ±15% 读数；5×10⁻⁴~1×10⁻³ mbar、100‑1000 mbar 区间 ±50% 读数，重复度 2% 读数

4. 输出信号：对数电压输出 0‑10.3V，每十倍压力变化输出 1.286V，便于 PLC、工控系统接入集成；具备灯丝断裂报错信号

5. 供电：DC14‑30V 供电，最大功耗 1W，响应时间 80ms

6. 耐过压：螺纹接口版本可承受 10bar 绝对过压；可选 250℃高温烘烤版本

7. 灯丝与馈通选型

• 钨灯丝 + 玻璃馈通：通用工况；

• 镍灯丝 + 玻璃馈通：轻微腐蚀气体环境；

• PSG510‑S、PSG512‑S 陶瓷馈通型号：适配强腐蚀介质场景

8. 机械接口：DN16 ISO‑KF、DN16 CF‑R、VCR、NPT、管接头、长管型等多种真空接口；支持替换传感单元，维护成本更低

9. 工作条件：工作温度 + 5℃~+60℃，防护等级 IP40，安装方向无限制，适配设备内部狭小安装空间。

行业应用场景

半导体行业

半导体工艺设备内部真空管路、腔体粗‑中真空监测，可联动控制高真空电离规，作为安全联锁回路元器件。陶瓷馈通版本可以应对工艺腐蚀性气体，支持腔体高温烘烤，设备布局不受安装朝向约束，满足半导体设备严苛稳定性要求。

电力行业

电力设备真空腔体、真空开关、绝缘处理真空系统压力监控，用于真空系统安全回路，实现压力阈值报警、设备联锁保护，保障电力器件真空处理工艺稳定性。

自动化制桶行业

制桶自动化产线真空吸附、罐体真空检漏工位，粗中真空段实时压力采集，对数信号直接对接产线自动化控制系统，可选双设定点型号，实现压力阈值触发报警、工序流转控制，紧凑型壳体适配产线设备紧凑化布局。

其他通用真空场景

各类工业真空管路、镀膜、热处理设备，完成粗真空、中真空区间测量与闭环控制，按键可快速完成大气压、高压校准，现场调试便捷。

产品优势

1. 安装友好：测量性能不受安装姿态约束，设备设计布局自由度高；铝合金外壳，结构坚固体积小巧，节省设备空间。

2. 调试便捷：实体按键一键完成 ATM 大气压、HV 高压校准，降低现场调试难度。

3. 强工况适配：多版本灯丝与馈通可选，从普通工况到强腐蚀气体环境均可适配；支持 250℃烘烤版本适配高温腔体。

4. 易集成易维护：对数标准电压输出，对接工控系统简单；可单独更换传感器单元，无需整机替换，降低后期运维成本；双设定点型号自带继电器触点，直接实现压力阈值开关控制。

5. 安全可靠：全不锈钢测量腔，螺纹接口具备 10bar 抗过压能力，RoHS 合规，适配工业设备准入标准。

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