SONOSYS 兆声波清洗换能系统介绍

更新时间：2026-09-30

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这是 SONOSYS 品牌的兆声波（Megasonic）清洗换能设备，主打半导体微器件精密清洗。

SONOSYS 兆声波清洗换能系统介绍

整套核心由全封装换能振板 + 驱动主机组成，振板外壳可选不锈钢、PVDF、PFA 材质，能够直接安装在原有清洗水槽的槽底或者槽壁，不用大规模改造产线，很方便对现有清洗槽做升级加装。既有适配 4/6/8 英寸基板的标准型号，也支持按需定制。

SONOSYS 兆声波清洗换能系统介绍

设备支持 400kHz、600kHz、1MHz、2MHz 多种兆声频率。它采用在申利的压电陶瓷技术，声压输出可提升 40% 以上，换能效率它最高可达 30%；声场能量分布非常均匀，既能实现优异的清洗效果，又能保护工件上的精细微结构，不会造成损伤。

SONOSYS 兆声波清洗换能系统介绍

主要用于最大 200mm 的半导体晶圆、基板、MEMS 微零件的精密清洗，也可用于 LIGA 工艺里光致抗蚀剂剥离、蚀刻等半导体工艺场景。

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