TECHNOMATE PU-300A 纯水增压泵单元｜半导体湿法工艺纯水稳压增压方案

更新时间：2026-10-26

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在半导体湿法清洗制程中，超纯水的压力稳定度直接影响晶片清洗良率，水压波动、断压、憋压都极易造成产品不良。TECHNOMATE PU-300A 纯水增压泵单元，是面向洁净纯水工况开发的一体化增压稳压机组，为半导体湿法工艺提供可靠的纯水增压解决方案。

一、产品简介

PU-300A 为日本 TECHNOMATE（泰克诺美特）一体式纯水增压泵单元，整机采用 SUS304 不锈钢抛光壳体，洁净无析出，专门适配纯水 / 超纯水介质，泵芯选用丸山制作所 10-RXAS-040TE 泵头，是半导体湿法产线配套的专用增压设备。

设备支持两种运行模式：DC24V 远程信号启停，可对接 PLC 自动化控制系统；也可切换手动球阀控制模式，正面调压旋钮可灵活调节输出水压，适配产线不同工序压力需求。

二、核心保护设计（湿法工艺重点优势）

旁路泄压保护：后端负载关闭、水路切断时，设备内置旁路阀在 0.45MPa 自动开启内部循环，避免管路憋压，支持短时间闭端循环运行；
高温停机保护：旁路循环持续升温至 50℃，温控开关触发停机，防止纯水过热、泵体损坏，规避产线故障风险；
防空转要求：设备严禁空转，开机前灌满引水，保障纯水输送稳定，适合洁净水路连续作业。

三、基础规格参数

项目	参数
产品型号	PU-300A
品牌	TECHNOMATE
适用介质	纯水、超纯水
流量压力	50Hz：13L/min@0.5MPa；60Hz：16L/min@0.5MPa
供电规格	AC200V，1.2kVA
接口规格	Rc1/2（进水、出水）
外形尺寸	W228×H336×D520mm
壳体材质	SUS304 不锈钢抛光
使用环境	室内 10~35℃，湿度 30~80%
控制方式	DC24V 远程信号控制 / 手动球阀控制

四、适用场景

半导体湿法清洗、蚀刻、漂洗工序纯水增压稳压
工厂超纯水供给系统二次增压
实验室洁净纯水循环增压系统
其他对水质洁净度有要求的纯水输送工况

注意：进水压力不可超过 0.35MPa，推荐软管内径≥15mm，泵入口建议增设引水分支管路，保障泵体稳定上水。

五、消耗件说明

本机核心消耗件为泵组件：型号 10-RXAS-040TE（丸山制作所），出现泵体泄漏、压力不足故障时，可单独更换泵组件，维护便捷，降低产线停机成本。

六、方案总结

TECHNOMATE PU-300A 纯水增压泵单元，把增压、调压、压力保护、过热保护集成在一台机组内，无需额外搭配复杂泄压组件。稳定的压力输出 + 洁净不锈钢结构，完的美的匹配半导体湿法工艺对纯水供给的严苛要求，是湿法产线纯水增压的成熟配套设备。

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