纯水输送如何稳定控压？TECHNOMATE PU-300A 增压泵单元自带保护功能

更新时间：2026-10-26

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在半导体湿法、超纯水供给等洁净工艺中，纯水压力波动、管路憋压、泵体过热，一直是影响制程良率、设备寿命的常见难题。普通增压泵缺少配套保护，后端阀门关闭时极易憋压损坏管路与泵头，很难适配精密洁净水路的稳压需求。TECHNOMATE PU-300A 纯水增压泵单元，一体化集成调压、旁路泄压、高温保护，为纯水输送提供稳定可靠的控压方案。

一、产品概述

TECHNOMATE PU-300A 是日本 TECHNOMATE 推出的一体式纯水专用增压机组，整机 SUS304 不锈钢抛光壳体，洁净无析出，只适配纯水、超纯水介质。泵芯采用丸山制作所 10-RXAS-040TE 泵组件，结构紧凑，自带压力表与调压旋钮，无需额外加装复杂稳压配件。

设备支持两种控制模式：

DC24V 远程信号启停，可对接产线 PLC 自动化系统，适配自动化湿法工序；
手动球阀控制，保持远程信号接通，依靠球阀开闭启停，正面旋钮直接调节输出水压。

二、自带多重保护，解决纯水稳压痛点

这也是 PU-300A 区别于普通增压泵的核心优势，从压力、温度两个维度对水路和泵体进行防护：

内置旁路泄压保护（防憋压）后端用水阀关闭、负载切断时，压力达到 0.45MPa 自动开启旁路循环，纯水在机组内部回流，避免管路憋压爆管、泵体过载，支持短时间闭端循环运行。
高温温控停机保护（防过热损伤）旁路持续循环会让水温逐步上升，当温度达到 50℃时，温控开关触发停机，防止纯水过热、泵体密封件老化损坏，减少非计划停机风险。
洁净适配保护整机为纯水工况设计，无易污染水质的结构，满足超纯水输送的洁净要求。

⚠️ 重要提醒：本设备严禁空转，开机前必须灌满引水；进水压力上限 0.35MPa，不可超压供水。

三、核心参数一览

项目	参数
品牌型号	TECHNOMATE PU-300A
适用介质	纯水、超纯水
流量压力	50Hz：13L/min，0.5MPa；60Hz：16L/min，0.5MPa
供电	AC200V，1.2kVA
接口规格	Rc1/2（进水口、出水口）
外形尺寸	W228×H336×D520mm
壳体材质	SUS304 不锈钢抛光
使用环境	室内，温度 10~35℃，湿度 30~80%
易损件	10-RXAS-040TE 泵组件（丸山制作所）

四、适用场景

半导体湿法清洗、漂洗、蚀刻工序超纯水增压稳压
工厂超纯水系统二次增压供水
实验室洁净纯水循环增压系统
其他对水质洁净度、供水压力稳定性有严格要求的纯水输送工况

五、总结

纯水输送想要稳定控压，不只是单纯提升水压，更需要配套可靠的压力与温度保护机制。TECHNOMATE PU-300A 增压泵单元把增压调压、旁路泄压、过热保护集成一体，结构简洁、维护方便，泵组件可单独更换，非常适合半导体等精密洁净产线的纯水稳压需求，降低水压波动带来的工艺不良风险。

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