微弱信号晶圆测试如何实现？MJC PMP-2/PMP-4 桌面手动探针台

更新时间：2026-11-05

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MJC PMP-2、PMP-4 为桌面便携式手动探针台，分别适配 2 英寸、4 英寸晶圆样品测试。设备结构紧凑、重量轻便，可直接放置于桌面使用，适合实验室工位部署。载台支持 XYZ 方向移动，可自由移动或锁定，方便探针定位，设备内部布局可调整，可加装配件适配不同测试需求。

核心测量优势

探针台采用晶圆卡盘、保护环、屏蔽层三层结构设计，具备低噪声、低漏流特性，能够稳定完成 fA、μV 级别微弱信号测量，支持 I-V、C-V 等器件电学表征，满足小尺寸晶圆样品精密电学测试要求。

型号参数对比

项目	PMP-2（适配 2 英寸晶圆）	PMP-4（适配 4 英寸晶圆）
最大晶圆尺寸	Φ50mm	Φ100mm
X/Y 载台行程（加装滑轨）	X：60mm，Y：60mm	X：100mm，Y：100mm
Z 轴行程	5mm	5mm
外形尺寸（宽 × 深 × 高）	300×300×260mm（不含突出部件）	350×370×260mm（不含突出部件）
重量	12kg（不含选配件）	14kg（不含选配件）

标准配置说明

标配包含 Triax-SMA 连接器板、探针位移台 3 套、同轴探针 3 根、同轴互联线缆 4 根、真空泵。备注：PMP-2 与 PMP-4 均不支持加热卡盘以及温度控制器。

适用领域

主要用于半导体器件、MEMS、光电芯片、新材料样品电学测试，适用于高校实验室、科研院所、器件研发企业开展样品评估工作。

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