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更新时间：2026-01-07 
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eFLOW Series采用DIC自主研发的“中空丝气液透过膜"技术，通过向超纯水（DIW）中溶解二氧化碳（CO2）气体，调节水的比电阻值，从而防止静电引发的“灰尘再附着"及“静电破坏"。
工作原理：超纯水在中空丝膜内部流动，外部通入CO2气体。气体透过膜壁溶解于水中并离子化，赋予水导电性以消除静电。
优势特点：
结构简单，故障率低。
采用独特的管道分配方式，比电阻值控制简便且稳定性高。
碳酸气体给气模块寿命长（自社制造，提供5年保修）。
Panel Mount Type（P系列）：符合IEA（美国电子工业）标准机架安装规范。1AP为全清洁规格标准机，2AP可选全清洁规格。
Cabinet Type（C系列）：配备可容纳2瓶CO2钢瓶的机柜，内置比电阻传感器，可直接连接使用点配管。
模块配置：1AP/1AC搭载1个模块；2AP/2AC及3AP/3AC搭载2个模块。
| 产品型号 | 处理流量范围 (L/min) | 模块配置 |
|---|---|---|
| eFLOW 1AP-B02 / 1AC-P201 | 1 – 16 | 1 module |
| eFLOW 2AP-B01 / 2AC-P201 | 5 – 30 | 2 modules |
| eFLOW 3AP-B01 / 3AC-P201 | 10 – 50 | 2 modules |
主要用于半导体制造及清洗过程，包括但不限于：
光罩、光刻胶的清洗。
洗涤塔（Scrubber）清洗。
高压喷射清洗。
切割（Dicing）工程清洗。
电池清洗。
提供多种定制化选项，包括：
清洁规格（流量至30L/min）。
低比电阻类型。
小型及电气分离类型。
大流量（100 L/min）类型。
该装置通过独的特的膜技术有效解决了超纯水清洗中的静电问题，其模块化设计和长寿命保障为半导体制造提供了稳定且经济的解决方案。
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