德国Sonosys的三合一喷嘴是一种结合了多种功能的先进设备,通常集成了清洗、喷雾和涂层涂覆等多种功能。以下是其主要优势:
1. 多功能集成
2. 高效清洗能力
兆声波技术:喷嘴利用兆声波(高频超声波)技术,能够产生微小的气泡并利用其破裂产生的能量来去除微小颗粒。这种技术特别适合清洗高精度的基板、晶圆、掩模、LCD等敏感部件。
高频选项:提供多种高频选项(如400kHz、600kHz、1MHz、2MHz、3MHz、4MHz和5MHz),高频清洗能够更温和地去除纳米级别的颗粒。
无接触清洗:通过液体介质传输兆声波能量,避免了物理接触对敏感部件造成的划伤或损坏。
3. 高精度与均匀性
4. 紧凑设计与易集成
5. 环保与低能耗
6. 耐用性与可靠性
7. 广泛的应用范围
8. 定制化选项
这些优势使得德国Sonosys的三合一喷嘴在高精度清洗和涂层涂覆领域中表现出色,成为许多行业的首的选设备。