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IDEX旗下Trebor:解密半导体级流体处理的“纯”粹之道

更新时间:2026-01-06      浏览次数:35

在半导体、LED及制药的微观世界里,流体的纯度直接决定了产品的良率。作为IDEX Corporation旗下的精密流体处理单元,Trebor(特雷博)的产品哲学非常简单:在流体路径上,绝不让金属存在。

围绕这一核心,Trebor构建了一套从加热、输送至监测的完整高纯度解决方案。

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一、 石英加热器:流体路径的“金属绝缘体"

对于去离子水和腐蚀性化学品的加热,传统加热器往往面临金属析出的风险。Trebor的解决方案是全石英结构

  • 核心逻辑:采用单程快速加热技术,流体在石英管内瞬间升温。

  • 技术亮点:流体路径中无任何金属组件。这不仅杜绝了金属离子污染,其独特的模块化设计还消除了流体死角。

  • 实际价值:这种设计有效防止了细菌滋生和颗粒滞留,特别适合对纯度要求严苛的半导体清洗和蚀刻工艺。

二、 AODD泵:全塑材质的“化学坦克"

流体输送是工艺中的心脏,Trebor的气动双隔膜泵(AODD)是为“恶劣环境"而生的。

  • 核心逻辑:采用100%原生塑料树脂(PTFE、PFA、PP)制造。

  • 技术亮点:这种材质选择意味着它能适应工业界已知的最的具侵蚀性的化学混合物。无论是强酸还是强碱,泵体本身不会被腐蚀,也不会向流体中释放杂质。

  • 实际价值:专为连续运行设计,确保了产线在处理高纯化学品时的长期稳定性和安全性。

三、 非侵入式监测:光纤传感的“隔空诊断"

在高纯系统中,监测设备往往是一个矛盾点:既要测得准,又不能污染流体。Trebor的配件系统给出了答案。

  • 核心逻辑:利用光纤技术设计非金属传感器。

  • 技术亮点:探头不接触超纯流体(非侵入式),且无电气接线端子。

  • 实际价值

    1. 零的污染:探头不接触流体,避免了传感器材质对工艺介质的污染。

    2. 防爆安全:在挥发性溶剂应用中,无电气端子消除了爆炸风险。

    3. 精准诊断:为泵提供完整的性能诊断,却不影响泵的正常运行。

四、 服务网络:让技术落地

除了硬件,Trebor在全的球布局了Signature Service Providers (SSP) 网络。这意味着设备出现问题时,不需要漫长的跨国维修,本地化的授的权服务商可以进行快速的重建和维修,最的大程度减少产线停机时间。

结语:

Trebor的产品线逻辑非常清晰:用石英解决加热污染,用全塑解决输送腐蚀,用光纤解决监测风险。对于追求极的致纯度的现代工业而言,这不仅仅是一套设备,更是一种保障工艺安全的系统性方案。


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