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更新时间:2026-09-15
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清洁力不足:无法去除亚微米级甚至纳米级的颗粒。
损伤风险:能量分布不均或声压过大,极易损坏脆弱的微细线路(Microstructures)或减薄晶圆。
高声压:相比其他系统,声压提高 40%,确保了对纳米级颗粒的强力去除。
高效率:能量转换效率提升高达 30%,这意味着在达到相同清洁效果的同时,能耗更低,热效应更小。
半导体与光伏:
晶圆与掩膜清洗:在不损伤电路图案的前提下,彻的底的清除光刻胶残留和微粒。
湿化学生产支持:作为标准清洗步骤的增强手段,提升整体工艺稳定性。
光学领域:
在精密光学元件镀膜前,提供无瑕疵的表面处理,确保膜层附着力与透光率。
微/纳技术:
支持 LIGA 工艺开发,清洗高深宽比的微结构零件。
医疗领域:
用于医疗植入体的深度清洁,确保生物相容性安全。
多频率可选:覆盖 400 kHz、600 kHz、1 MHz 至 2 MHz 的宽频段。低频适合去除大颗粒,高频(兆声波)则专注于纳米级清洗且对器件损伤极小。
功率精准调节:输出功率可在 10% - 100% 之间线性调节,让工程师能够针对不同的工艺配方找到最佳能量点。
紧凑设计:19英寸标准机箱设计,节省宝贵的洁净室空间。